现代军用MEMS惯性传感器技术进展李红光（中国科学院长春光学粹密机械与物理研究所，吉林长祥131X）33）摘要：现代化军事需求小型惯性传感器。技术己成熟的惯性导航和制导系统包括•机械陀螺、坏形激光陀螺（RLGs）、光纤陀螺（FOGs）以及半球共振陀螺（HRGs）。现在主要用于军事的还有微机电系统（MEMS）陀螺仪和加速计。采用光子晶体光纤（PCFs）的干涉光纤陀螺（IFOGs），即PCTFOGs。重点阐述MEMS/集成光（10）波导惯性传感器技术进展。分析小型陀螺仪和加速计技术发展前景及在未来快速反应粘确打击中的作用。关键词：微电子机械系统；惯性传感器：MEMS陀螺；MEMS加速计；MEMS惯性测量仪；小型惯性测量仪；集成光波导陀螺屮图分类号：TH745;TN256;TN252;TN253文献标识码：A文章编号：100（）7787（2（）⑷（）8-0004~（）4ProgressontechnologiesofMEMSinertialsensorsformodernmilitaryLIHong-guang(ChangchunInstituteofOpticsFineMechanicsandPhysicsChineseAcademyofSciences»Changchun130033China)Abstract:MiniatureinertialsensorsarerequiredinmodemmilitaiyMaturetechnologiesinertialnavigationsystemincludesmechanicgyrosringlasergyros(RLGs)fiber-opticgyros(FOGs)andhemisphericalresonantgyros(HRGs)・NowsomeMEMSgyrosandaccclcromctcrshavebeenusedformilitaryInterferencefiber-opticgyros(IFOGs)usingphotoniccrystaKPC)(POIFOGs)isresearchedTeclinicalprogressofMEMS/integratedoptical(10)waveguideinertialsensorsarcdescribedemphaticallyProspectofminiaturegyrosandaccclcromctcrstechnologicsandfunctionsinprecisestrikeformilitaryinthefuturearcanalyzedKeywords:micro-€lectro-mechanicalsystem(MEMS);inertialsensor;MEMSgyro;MEMSaccelerometer;MEMSinertialmeasurementunits(MEMSIMU);miniatureIMU;10waveguidegyro---本文来源于网络，仅供参考，勿照抄，如有侵权请联系删除---0引言导航俗］导和控制技术历经100多年的发展最初是用机械陀螺导航现代惯性导航和制导传感器技术涉及诸多学科包括机械工程、电子学、光电子学、最子电子学、光子学和原子物理学等学科。纵观导航和制导传感器技术发展历程侮个阶段发展都冇新兴科学技术作先行者。1960年世界第一台激光器问世。1963年，环形激光陀螺（RLGs）首次通过实验验证，1975年用于导航。1985年，光纤通信技术迅速发展借助光纤通信技术基础，光纤陀螺（FOGs）用于导航。为了使FOGs小型化，仍然借助光纤通信工业川研制的光了晶体光纤（PCFs）的干涉光纤陀螺（IFOGs）研制成PC4F0GS和集成光波导陀螺（IOGs）。20世纪80年代，工业界首创用己有大规模集成电路制造技术制造微电子机械系统（MEMS）。1999年熒国陆军航空和导弹指挥部（AMC0M）导弹研究开发工程中心（MRDEC）确认MEMS对满足未来军予任务要求有很高的应用价值。MEMS技术在满足导航琴弹制导性能要求的条件下迫求减少导弹系统尺寸、重量和成木⑴。实际上有惯性导航技术己经达到任务要求精度的上限。各种辅助和加强传感器已经组合到惯性系统，如全球定位系统（GPS）、速度计、导弹寻的器、星跟踪器、激光雷达等。GPS可用于辅助较低性能传感器导航。GPS不是在任何条件下都能使用，如果存在干扰，在市区、室内或隧道和山洞以及卫星丢失情况下失灵，必须有其他导航传感器很快完成导航。本文对己成熟的导航和制导技术不加赘述°本文重点阐述MEMS/微光机电系统（MOEMS）惯性传感器技术的进展。MEMS己广泛用于GPS，由PCMFOGs发展成的IOGs是MOEMS芯片式系统，它将借用通信技术制造高粘度、尺寸小、成木低的惯性导航和制导传感器满足未來军备的需耍。IMEMS惯性传感器技术的进展I根据不同任务耍求选择惯性传感器的性能等级，战术、导航和战略用陀螺和加速计性能分别为:l°/h和1mg.，001o/h和25禺0001°/h和1隅。在过去儿年MEMS广泛用于GPS。美国的Honeywell，AtlanticInertialSystems以及NorthropGumman/LITEF公司生产接近战术级的全MEMS惯性测重单元（IMUs）。当军用战术级全MEMSIMUs技术成熟时，战术级RLGs和IF-OGs系统将...