技术部分仪器设备名称：频谱分析仪1.采购背景/目标：1.1采购背景随着半导体行业的迅猛发展，各种高精度、多分量、高性能振动传感器技术得到长足发展，广泛应用于航天、航空、海洋工程、医疗卫生、国民经济等领域，国际上以MEMS传感器为代表的新型振动传感器正在逐步取代传统振动传感器，成为主流运动测量产品，2008年的销售额超过了10亿美元，2010年仅ST公司的销售额就超过了20亿美元。近年来我国生产的MEMS运动传感器已经达到了国际先进水平，国外一些传统传感器行业巨头也正在寻求我国MEMS运动传感器生产企业为其代工。然而，我国缺乏对这类传感器的一些主要技术参数进行计量的能力，且国外对我国进行技术封锁，致使我国同类产品难以得到国际认可，无法与国外贴牌产品竞争；另一方面无法对关键技术指标进行测量，难以摸清技术改进方向，制约企业的自主创新能力。以日本国家计量院（NMIJ）为代表的发达国家计量院正在帮助日本和美国企业在ISO、IEC国际标准化组织中将其产品和计量方法起草为新的国际标准，从而帮助其垄断未来的国际市场。例如以日本为主导起草的国际标准“IEC60747-14-4半导体加速度计”明确要求采用多分量重力分量法对MEMS加速度传感器进行校准。传统的振动台随着振动频率的下降，振动台加速度幅值以频率平方的速率下降，使得信噪比变差，不能满足新兴振动传感器的量值溯源需求，急需购置三轴向精密转台系统，建立多分量重力分量法振动标准装置，利用重力场来进行振动校准，利用传感器与重力场的夹角确定加速度幅值，实现低频1g加速度幅值的多分量振动激励，以较高的信噪比保障校准结果的精确性和可靠性。例如，用于风力发电机组振动监测的传感器由于灵敏度较低（10mV/(m/s2)），低频段只能通过重力分量法校准。美国PCB公司和美国标准技术研究院合作研制了重力分量法振动标准装置，使得美国PCB公司几乎垄断了风力发电机组振动监测传感器的市场。我国振动监测传感器生产企业虽然可以提供类似的传感器，但由于无法校准，难以进入风力发电机组振动监测市场。1.2采购目标购置三轴向精密转台系统，开展多分量重力法振动计量技术研究，建立多分量重力分量法低频振动校准装置，提升和完善我国复杂、动态运动量值的溯源能力。新增重力分量法低频振动标准装置，解决多轴向加速度的量值溯源问题，为广泛地应用于航天航空、海洋工程、医疗卫生、国民经济等领域的多分量新型运动传感器提供量值传递，提升产品质量；服务于以我国为主的国际标准和国家标准的制修订工作，增强---本文来源于网络，仅供参考，勿照抄，如有侵权请联系删除---我国先进传感器的质量标准和国际竞争力；为空间卫星、惯性制导和遥感监测等高端国防装备提供高质量的量值溯源服务，支撑重大工程“归零”验证的有效性。2.采购标的执行标准：2.1三轴向精密转台用于惯导产品载复合环境下的测试与标定；2.2三轴向精密转台可根据应用需求进行调节，能够满足不同情况下的实验要求；2.3三轴向精密转台通过所配软件可进行数据处理与分析。3.技术规格三轴向精密转台主要技术指标3.1位置性能指标3.1.1运行模式：连续；3.1.2#角位置定位精度：内轴±1"、中框±1"、外框±1"；3.1.3#角位置分辨率：优于0.0001°；3.1.4#倾角回转误差：内轴±1"、中框±1.5"、外框±1"；3.1.5相邻轴线垂直度：±2"；3.1.6三轴相交度：Φ0.5mm球内。3.2速率性能指标3.2.1速率范围：#内轴：±0.001°/s～±600°/s；中框：±0.001°/s～±250°/s；外框：±0.001°/s～±180°/s；3.2.2三轴联动速率范围：±60°/s；3.2.3速率精度及平稳性（GJB1801-93）：#5×10－3（1°平均）；5×10－4（10°平均）；5×10－5（360°平均）；3.2.4#速率分辨率：优于0.0001°/s；3.2.5#最大角加速度：内轴：200°/s2、中框：150°/s2、外框：100°/s2；3.3温控性能指标3.3.1*温箱有效工作室容积：≥350mm×350mm×300mm；；3.3.2温度范围：-55℃～+150℃；3.3.3变温速率：不小于2℃/min；3.3.4温度偏差：±2℃；3.3.5控温精度：±1℃；---本文来源于网络，仅供参考，勿照抄，如有侵权请联系删除---3.3.6温度均匀性：...