吕雅利1，2胡学娟2（1.深圳市微纳光子信息技术重点实验室；2.深圳大学电子科学与技术学院）摘要：采用平面光波导（PlanarLightwaveCircuit,PLC）技术制作的阵列波导光栅(ArrayedWave-guideGrating,AWG)是应用于光网络中的支撑技术波分复用(WaveDivisionMultiplexing,WDM)的重要器件。本文介绍了国内外AWG的应用现状和发展前景。关键词：平面光波导阵列波导光栅波分复用：TN913.7文献标识码：A1平面光波导（PlanarLightCircuit，PLC）技术的市场分析伴随着光通信的发展，在金融危机影响下的亚太地区正成为全球光通信市场中最活跃的一部分，目前所面临的问题主要有：①运营商投资重心从SONET/SDH转移到WDM的趋势将会持续高涨；②3G网络正式商用化带动了移动与固网宽带市场新旧技术的转换；③受市场驱动和政策面的影响，光纤到户（FibertotheHome,FTTH）更加深入市场；④系统设备商们将持续兼并收购，以实现技术优势和资源整合。基于PLC技术开发的光器件在光网络的组网中占据重要地位。波分复用（WaveguideDivisionMultiplexing,WDM）系统是当前最常见的光层组网技术，它通过复用/解复用器实现多路信号传输。早期的WDM系统并没有实现真正意义上的光层组网，难以满足业务网络IP化和分组化的要求，这种情况直到可重构光分插复用器（ReconfigurableOpticalAddDropMultiplexer,ROADM）的出现才得以改善。平面光波导ROADM是近年来广泛采用的ROADM子系统之一。PLC的ROADM上下路通道是彩色光，这意味着只有预定义的彩色波长可以在每个端口上下，也可以配合可调滤波器和可调激光器使用。由于PLC的集成特性，使其成为低成本的ROADM解决方案之一。目前的光波导，一般都是以玻璃、LiNbO3、GaAs单晶等做衬底，再用扩散或外延技术制成的。PLC可以集成多种器件，例如：韩国的ByungSupRho等人用PLC研制的WDM双向模块[1]，我国的浙江大学也研制出一种利用PLC的高集成化的PMD补偿器[2][3]。2AWG的结构及其工艺简介阵列波导光栅（ArrayedWaveguideGrating,AWG）是第一个将PLC技术商品化的元器件。它是基于干涉原理形成的波分复用器件，通过集成的AWG可以实现波长复用和解复用，这种技术已被用于WDM系统中。目前平面波导型WDM器件有多种实现方案，其做法为在硅晶圆上沉积二氧化硅膜层，再利用光刻工艺（Photolithography）及反应式离子蚀刻法（RIE）制作出AWG。该类器件通路数大、紧凑、易于批量生产，但带内频响尚不够平坦。由于AWG采用与一般半导体相同的制作过程，多通道数与低通道数的制作成本相差不多，但更适合生产，而且整合度较高，因此应用在DWDM上具有相当的潜力。北美市场在2008年初呈现活跃状态，比如：美国加州的PLC设备供应商ANDevices在一月份签订协议，提供价值$13.5百万的产品给FTTH发展商EnablenceTechnologiesInc[4]。在我国，以PLC技术支持的光器件在光电子器件中占有很大份额，光电子器件从芯片、封装和模块这三方面关键技术来看，芯片、封装2.5Gb/s有大批量生产能力，模块10Gb/s正在形成大规模生产能力，这跟发达国家相比还有一定差距，我国的企业家们也正致力于开发低成本、高质量的完整产业链，用以生产包括PLC技术在内的光电子产品[5]。3AWG应用现状及未来发展趋势支持者们一直认为PLC有更广阔的应用前景，特别是在晶圆上集成多种功能和大规模生产低成本器件方面。在光通信产业仍处于困境之时，器件制造商们认为刚刚萌芽的FTTH市场会带来光器件的大规模应用，这可以帮助他们恢复增长。这个观点在许多PLC技术的支持者中非常流行，他们认为潜在的大规模应用是一个强劲动力。“一旦掌握了PLC的结构和工艺，就可以大规模、低成本地制造非常复杂的器件”。因为亚洲是最具竞争力的FTTH市场，该地区的元器件供应商对PLC的应用很感兴趣。Gemfire总裁和首席执行官RichardTompane认为PLC在FTTH系统中扮演着重要角色。另外，单片集成的方向不是最好的选择，除非被市场的大规模需求推动。混合集成可以将一系列非常复杂的功能集成为智能PLC模块。Tompane还预测将来PLC光子系统将设计得和现在的线路插卡一样。用户的带宽需求驱动FTTH的发展，而FTTH的发展又为新的网络业务提供良好的平台，网络...