再次考察光伏制造厂的硅烷爆炸常佑玉3,彭登杰3,武红春a,曹长程"沈春成b蔡萧云b和陈政任ba职业安全部，职业安全和健康学会，劳委会，行政院，shijr城，台北221,台湾b安全部，健廉和环境工程，和EPA/NKFUST南部紧急事件中心有毒物质应对(ENSERTS),国立高雄第一科技大学，yenchau,高雄市824,台湾；jrc@ccms.nkfust.edu.tw(通讯联系)2007年2月22日在WileyImerScience(www.irnerscience.wiley.com)网上发布.DOI10.1002/prs.10194基于对物证的更详尽的检查，提出了笫二种引发先前所描述的硅烷爆炸可能的起因。爆炸与火灾发生在光伏制造工厂的硅烷气体室。本项调查建议对硅烷泄漏和导致燃烧和爆炸的特征作更多的研究。I刁时建议对硅烷钢瓶阀门以及气柜进行更完善的设计。硅烷泄漏很难检测，因此建议还包括：需要硅烷气体探测器，当汕漏发生时警告操作工。©2007年美国化学工程协会过程安全计划26:155-158,2007关键词：硅烷；燃烧及爆炸；钢瓶阀导官最近，在一家硅薄膜光伏组件制造厂的硅烷气体室发生了一起重大的爆炸和火灾，导致一人死亡，彻底摧毁了气体室。大火还蔓延至室外，通过聚丙烯(PP)排气管，蔓延到洁净室和废气洗涤器,从而导致工厂的严重损毁。这是在台湾高新技术产业历史上最大的硅烷事故，超过了半导体产业先前己知的硅烷事故。事故的应对及初步调研细节在陈等的报告中己有叙述［1］。前而的调查特地根据气柜管组的检查结果提出一个场景：•操作工独自操作钢瓶。•操作工错误连接钢瓶阀门。写这篇文章纯粹是为了促进在半导体行业良好的安全，实践和更好的安全性研究。这篇文章及作者概不对进行讨论的审件负任何法律或保险责任。•操作工打开柜门操作钢瓶阀门，而不是通过窗口。・阀门接头未经后吹扫和检漏，操作工打开了钢瓶阀，导致泄漏，滞后着火和爆炸。•冲击波把两个硅烷钢瓶丿II出气柜，并把操作工击昏或可能受致命伤。•该硅烷钢瓶不断从CGA632检漏孔泄漏，把火焰喷向墙面和操作工。•火焰和高热冲击附近的硅烷钢瓶，造成更多的硅烷泄漏，火势使事故进一步恶化。第一篇论文侧重于钢瓶室、气柜管组、以及操作工失误［1］。写完第一篇文章后，我们发现有机械故障，可能是这次意外的另--种解释，因此，需要加以报告。有关其中一个硅烷瓶阀的物证，本文进行了较详细的检查。这些证据清楚地表明，气体是山没有了下阀杆、上阀杆和压盖的阀门冒出来的。因此，提岀了第二种可能的爆炸起因的设想。对这个设想所留下的问题也作了讨论。钢瓶阀门的检査按照陈等人的定义［1］,焦点是B气柜里右侧的钢瓶。左、右阀门的比较示于图1。火灾后钢瓶阀门的另件示于图2。阀门是带DISS632出口的Ceodeux型密封的隔膜阀。手轮是铝的，火烧后熔化掉了。右侧钢瓶阀门的压盖、隔膜、上、下阀杆均脱离了。只在钢瓶邻近的地而上发现了隔膜和下阀杆。共他部件失踪，可能被埋在某处氧化硅泥土下。阀座出口处可看到有烧焦物质，如图3所示。检查该材料的扫描电镜和能谱分析发现，其中只含硅和氧，即硅烷的氧化产品而非阀门上熔化的金属。除去这些物质，可清晰看见阀门的入口孔和阀座上都充满了白色粉末，如图3所示。很可能大部分的硅烷是从这个孔里出来的。然而，来自相邻钢瓶的火焰喷射未使压盖和其他阀门零件脱开。因为只有一个压盖脱开，而所有的钢瓶都遭受了火焰的喷射。阀座上固定压盖的螺纹也完好无损，几乎没有机械或热损伤的迹象。现场发现的下阀杆也没有热损伤的迹象。因此，皋于失踪了压盖、阀杆、隔膜和沉积在阀座上的硅烷粉末等物证，可以得出结论：阀座，而不是DISS连接，是硅烷释放的首要原因。完整的压盖螺纹还表明压盖脱离是人为的，不是由于火的作用。分析以及第二种可能的场景瓶阀的压盖故障是反常的。按设计，丿玉盖要用强大的扭转力来紧固，不能用一般的扳手松开。它的松动要么在操作工将它安装到气柜之前，要么在安装的时候。无论哪种情况，除非泄漏很小没有着火，硅烷一定从压盖的螺纹淤漏，操作工或钢瓶搬运工一定会发现。右侧钢瓶是两天前连接的，爆炸发生时可能处于供给状态。左侧钢瓶是操作工要更换的，如陈等人讨论过的那样［1］。操作两个串联钢瓶的方法是一个供给，另一个...