信息检索 作业1

姓名:____学号:____班级:成绩:__________课题名称:微光机电系统(MOEMS)1.确定课题名称中文:微光机电系统(MOEMS)2.分析课题,选择检索工具,并确定检索途径、检索词检索工具一:名称:google网址:wwgoogle.hk类型:搜索引擎检索途径:网页搜索检索词1中文:微光机电系统英文:MOEMS检索词2中文:半导体材料英文:semiconductormaterial检索词3中文:光电子英文:photoelectron检索工具二:名称:OA资源网址:wwopensciencedirectory类型:开放获取资源检索途径:论文检索词1中文:微机械英文:Micromachining检索词2中文:MEMS英文:MEMS检索词3中文:微光机电系统英文:MOEMS检索工具三:名称:cnki中国知网网址:wwcnki类型:期刊全文数据库检索途径:文献标准检索检索词1中文:MEMS英文:MEMS检索词2中文:微光机电系统英文:MOEMS检索词3中文:微机械英文:Micromachining3.进行检索4.记录检索结果,下载保存所需文献信息1.微光机电系统(MOEMS)研究综述【摘要】:在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(MOEMS)。作为一个新兴的多学科交叉的研究领域,其也成为了光学器件发展的新方向。本文阐述了MOEMS基本理论、方法;介绍了MOEMS技术在国内外的发展现状及这一技术最新取得的进展;分析了光学系统中引入MEMS的重要性;列举了一些有代表性的MOEMS器件,并介绍了它们的制作过程以及它们与其它常规器件相比的性能优势;最后描绘了MOEMS技术的发展前景2.微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望【摘要】:微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能。MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起。着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状,阐述了MOEMS的基本特征,列举了一些典型的MOEMS系统,并分析了MOEMS技术的发展趋势。3.微光机电系统(MOEMS)张文栋(作者),熊继军(作者)本书意在向广大读者介绍微光机电系统的工艺、器件及其封装过程,共分五章,前三章主要使读者对MOEMS的概况以及设计制造,特别是对国内现有的条件有一个基本了解;第4章、第5章着重介绍典型的微器件和微系统。可作为工程设计人员及MOEMS专业方向研究生的参考书。3.DevelopmentandapplicationofMOEMSopticalsystem【Abstract】ThesortsandcharacteristicsoftheMicro-Opto-Electro-MechanicalSystem(MOEMS)arepresented,andseveralkindsofimportantMOEMS′productsarede-scribed.Withinthediscussionitreferedtheworkingmechanism,theapplicationsinopto-electricfieldanditsdevelopmentoutlook.SomeadviceforMOEMSresearcharepre-sented.4.Reviewandprospectonreflectionmodemicro-opto-electro-mechanicalsystem【Abstract】AsanimportantpartofMOEMS,reflectionmodeMOEMShasemergedasaresearchareadevelopingatfullspeed.Thestatusquoandup-to-the-minuteprogressofreflectionmodeMOEMSresearcharepresented.TypicaldevicesfromeverycategoryofreflectionmodeMOEMSareexamined.Theregularmicromachiningtechniquesandmainapplicationsareoutlined.ThedevelopmenttrendsofreflectionmodeMOEMSarediscussedandanalyzed.5.DevelopmentofMicrofabricationTechnologyforMEMS/MOEMSApplications【Abstract】DevelopmentofmicrofabricationtechnologiesforMEMSandMOEMShasbeenreviewed.Dependingonthematerials,thefabricationtechnologiesaregroupedintosiliconandnon-siliconprocesses.Inherite

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