Q/HRG合肥华瑞真空科技有限公司企业标准Q/HRG0001S-2014电阻真空计技术条件Specificationsofresistancevacuumgauge2014-05-10发布2014-09-01实施合肥华瑞真空科技有限公司发布前言根据JB/T10074—2004《中华人民共和国机械行业标准》制定本标准，以及国内主要电阻真空计生产厂家提出的技术要求而制定。本标准严格按照GB/T1.1《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写规则》的要求进行编写。本标准由合肥华瑞真空科技有限公司提出并起草。本标准主要起草人：郭毓、黄友领、李苹平。本标准自发布之日起有效期限3年，到期复审。生产单位：名称：合肥华瑞真空科技有限公司。地址：安徽省合肥市蜀山区黄山路602号。电阻真空计技术条件1范围本标准规定了电阻真空计（以下简称真空计）的技术要求、试验方法、检验规则等内容。该真空计由电阻真空计规管和电阻真空计电路组成。本标准适用于压强测量范围：105~10-2的真空计。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志（GB/T191—2000，eqvISO780:1997）GB/T4982夹紧型真空快卸法兰（GB/T4982—1985，idtISO2861-1:1974）GB/T6587.2电子测量仪器温度试验GB/T6587.2电子测量仪器湿度试验GB/T13306标牌JB/T9329仪器仪表运输，运输贮存基本环境条件及试验方法JB/T10074中华人民共和国机械行业标准JJF1050工作用热传导真空计校准规范3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1电阻真空计resistancevacuumgauge利用加热中的热丝电阻随压强而变化的一种热导真空计。3.2真空计规管vacuumgaugetube为电阻真空计的一部分，含有热丝电阻随温度变化的敏感元件并直接与真空系统连接。3.3真空计电路vacuumgaugecircuit为真空计的一部分，它由真空计控制单元和真空计指示单元组成。4技术要求4.1规管的技术要求4.1.1规管在下述环境条件下应能正常工作：a）环境温度：-5℃~40℃；b）相对湿度：不大于80％（23℃~25℃时）。4.1.2外观：规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线、气泡等缺陷。4.1.3电阻值：规管热丝电阻冷态电阻值的零散不应超过±1.5％。4.1.4规管与真空系统连接部分应满足下列要求：4.1.4.1规管连接部分为圆型轨道时，管道的外径应为15mm±0.5mm；4.1.4.2规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时，其技术要求应符合GB/T4982的规定。4.1.5密封性：规管对氦气的漏率应不大于10-9Pa.m³/s。4.1.6规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不得小于12。4.1.7在环境温度为23℃±3℃下，规管校准曲线在测量范围0.5Pa～2500Pa时，与标准曲线的偏差平均值不得超过±20％。4.2真空计电路的技术要求4.2.1真空计在下述环境条件和供电电源下应能正常工作：a）环境温度：-5℃～40℃；b）相对湿度：不大于80%（23℃~25℃时）；c）电源电压：220V±22V，频率50Hz±0.5Hz。4.2.2真空计外观：a）真空计机箱外壳及表面处理良好，标志的文字符号均应清晰；b）真空计的显示器应无引起测量误差的外观缺陷。如模拟式电表不应有机械零件失调、指针弯曲和卡针等现象；数字式显示器应无缺段、缺字等现象；c）真空计的开关、按钮、指示灯等均应齐全、完好，所有紧固件不得松动脱落。4.3真空计整机技术要求4.3.1规管和电路匹配使用时，仪器预热半小时经调整后，1h内，在电源电压为220V±22V时，真空计在压强测量范围0.5Pa～2500Pa内，示值相对误差不应超过±5%。5试验方法5.1规管的试验方法5.1.1规管是否符合4.1.1的要求，参照GB/T6587.2和GB/T6587.3的有关规定进行。5.1.2规管是否符合4.1.2的要求，用目测或相应的测量工具来进行检查。5.1.3用电桥方法测量冷阻及其零散，测量时取加热电流为工作最小电流的1％。测试电路见图1。图中：R1、R2-----标准精密电阻，其精确度不超过±0.5%，R1和R2取近似于R0的2倍；R0-----电阻真空计规管；R3-----标准电阻箱，能分辨的电阻变化不超过0.2%R0，能检测的最大电阻为R0的2倍；Rs-----0～20；G------光点检流计；E------稳定度优于0.2％的直流稳压电源，其值为2V；mA------精...