微波滤波器小型化技术研究谭小花２０１３年２月第３６卷第１期舰船电子对抗ＳＨＩＰＢＯＡＲＤＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＣＯＵＮＴＥＲＭＥＡＳＵＲＥＦｅｂ．２０１３Ｖｏｌ．３６Ｎｏ．１微波滤波器小型化技术研究谭小花１，金宝龙１，钱志芳１，张荣君２（）中国电子科技集团公司第５上海２复旦大学，上海２１．１研究所，０１８０２；２．００４３３摘要：阐述了现代微波滤波器小型化技术的发展，分析了雷达对抗装备的需要、滤波性能、可嵌入性、工艺性等设计要素，研究了采用阶跃阻抗谐振器、慢波结构、高介电常数材料和低温共烧陶瓷（的几种小型化结构，利用ＬＴＣＣ）试验结果对今后的工程设计方案有一定的指导意义。Ａｎｓｏｆｔ软件进行建模和仿真，关键词：微波滤波器；小型化；阶跃阻抗谐振器；慢波结构；低温共烧陶瓷（）中图分类号：ＴＮ７１３．７文献标识码：Ａ文章编号：ＣＮ３２１４１３２０１３０１００８３０５－－－ＲｅｓｅａｒｃｈｉｎｔｏＴｈｅＭｉｎｉａｔｕｒｉｚａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｏｆＭｉｃｒｏｗａｖｅＦｉｌｔｅｒｇｙ１１１２，ＴＡＮ_ｉａｏｈｕａＪＩＮＢａｏｌｏｎＱＩＡＮＺｈｉｆａｎＺＨＡＮＧＲｏｎｕｎ－－－－ｇ，ｇ，ｇｊ（；１．Ｔｈｅ５１ｓｔＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＣＥＴＣ，Ｓｈａｎｈａｉ２０１８０２，Ｃｈｉｎａｇ，）２．ＦｕｄａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔＳｈａｎｈａｉ２００４３３，Ｃｈｉｎａｙｇ：ＡｂｓｔｒａｃｔＴｈｉｓａｅｒｅ_ａｔｉａｔｅｓｔｈｅｄｅｖｅｌｏｍｅｎｔｏｆｍｏｄｅｒｎｍｉｃｒｏｗａｖｅｆｉｌｔｅｒｍｉｎｉａｔｕｒｉｚａｔｉｏｎｔｅｃｈ－ｐｐｐｐ，，ｎｏｌｏａｎａｌｚｅｓｔｈｅｄｅｓｉｎｆａｃｔｏｒｓｓｕｃｈａｓｒａｄａｒｃｏｕｎｔｅｒｍｅａｓｕｒｅｅｕｉｍｅｎｔｒｅｕｉｒｅｍｅｎｔｓｆｉｌｔｅｒｉｎｇｙｙｇｑｐｑｇ，，，，ｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｅｍｂｅｄｄａｂｉｌｉｔｔｅｃｈｎｉｃｏｌｏｅｔｃ．ｒｅｓｅａｒｃｈｅｓｓｅｖｅｒａｌｍｉｎｉａｔｕｒｉｚａｔｉｏｎｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｗｈｉｃｈｐｙｇｙ，，ｕｓｅｓｓｔｅｅｄｉｍｅｄａｎｃｅｒｅｓｏｎａｔｏｒ（ＳＩＲ）ｓｌｏｗ－ｗａｖｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｈｉｈｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃｃｏｎｓｔａｎｔｍａｔｅｒｉａｌａｎｄｐｐｐｇ，ｔｅｍｅｒａｔｕｒｅｃｏｆｉｒｅｄｃｅｒａｍｉｃ（ＬＴＣＣ）ｔｈｅｍｏｄｅｌｉｎａｎｄｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｂｍｅａｎｓｏｆＡｎｌｏｗｅｒｆｏｒｍｓ－－ｐｇｙｐｓｏｆｔｓｏｆｔｗａｒｅ．Ｔｈｅｅ_ｅｒｉｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｓｈａｖｅｄｅｆｉｎｉｔｅｕｉｄａｎｃｅｍｅａｎｉｎｆｏｒｆｕｔｕｒｅｅｎｉｎｅｅｒｉｎｄｅｓｉｎｐｇｇｇｇｇｒｏｅｃｔ．ｐｊ：；；；；Ｋｅｗｏｒｄｓｍｉｃｒｏｗａｖｅｆｉｌｔｅｒｍｉｎｉａｔｕｒｉｚａｔｉｏｎｓｔｅｅｄｉｍｅｄａｎｃｅｒｅｓｏｎａｔｏｒｓｌｏｗ－ｗａｖｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｐｐｐｙｌｏｗｔｅｍｅｒａｔｕｒｅｃｏｆｉｒｅｄｃｅｒａｍｉｃ－ｐ３］。１谐振器［二９８９年，Ｓａａｗａ等提出四分之波长、ｇ０引言微波滤波器的小型化、集成化、便捷化是现代武现代雷达侦察设备在器装备发展的重要方向之一，要求其微波接收前端的电性能优异的同时，也需要其结构上高度集成，并严格控制尺寸和重量。所以小型化的微波滤波器是目前元器件研究开新型化、发的重要目标。传统的平行耦合线式滤波器由一系列半波长谐振器级联而成，虽然其印刷电路形式相对简单，但体积较大，并且其阻带特性也不十分理想，在ω＝２ω０处稍有失谐，就会出现寄生通带［］１２－，分之波长和全波长的阶跃阻抗谐振器（既减ＳＩＲ）小了电路尺寸又将滤波器的寄生通带移至频率更高４］。与此同时，端［各种新颖的微型结构大量涌现，比［５］６］７］）、如：缺陷地结构（慢波结构［及双模结构［ＤＧＳ等。另外，近年来新材料和新技术的出现也刺激了滤波器小型化技术的飞速发展，如高温超导材料［［８］９］（）、、低温共烧陶瓷（微机电系统技ＨＴＳＬＴＣＣ））术（等。ＭＥＭＳ总之，这些年人们对微波滤波器的小...