净化厂房MAU+RCU+HEPA空调系统设计程康(信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司，江苏无锡214071)摘要：阐述了洁净室空调的特点，介绍了目前光伏电子行业常采用的MAU+RCU+HEPA对系统的空气处理过程。分析计算表明由于电子行业洁净空调室冷负荷巨大，使得空调系统的换气次数很多，甚至大于室内允许含尘浓度计算得出的换气次数。对江阴地区某电池厂房的空调系统设计进行了举例计算。关键词：新风空调机组；循环空调箱；组合式空调箱；高效送风口；净化等级；静压箱中图分类号：TU831文献标志码：A文章编号：1673-7237(2013)05-0032-04AHU+RCU+HEPAAir-ConditioningSystemDesigninPurificationPlantCHENGKang(EDRI,Wuxi214000,Jiangsu,China)Abstract:Thecharacteristicofair-conditioningforcleanroomisexpounded,aswellastheairprocessingofMAU+RCU+HEPAsystemwhichismostpopularusedinphotovoltaicandelectronicindustry.Bothoftheanalysisandresultofcalculationshowlargeamountofcoolingloadincleanroomofelectronicindustrycausinghugenumberofairventilationevenmorethanthatofpurification.Theair-conditioningsys－temdesignofsolarcellsfactoryinJiangyinisstudied.Keywords:Make-upAirUnit(MAU);RecycledAirHandlingUnit(RCU);AirHandlerUnits(AHU);HighEfficiencyParticulaterAir(2)温湿度要求精度高并且恒定。由于电子产品的制造工艺对温、湿度的变化极为敏感，所以空气参数的波动要控制在极小的范围内，因此，自控系统如DDC、PLC等在洁净系统控制中有着不可忽视的作用[4]；(3)洁净室内新风量大、换气次数高。光伏、电子行业的洁净室内有诸如烘箱之类的工艺设备，产热极大，这些热量主要依靠工艺冷却水和工艺热排风带走，工艺设备同时还会产生酸、碱、有机废气，需要排走，房间内的各种大风量排风意味着需要补充大量经热湿处理过的新风来维持室内正压。同时，为了维持房间高洁净度就需要较多的换气次数来过滤尘埃粒子；(4)空调风系统的形式。因洁净室不仅需要温湿度满足要求，更重要的是使洁净区悬浮粒子颗粒数满足要求，目前电子行业厂房内的洁净度要求根据工艺的不同，一般设置成ISO5～ISO9级之间，对应于传统分级的百级至十万级[5]。风系统则由组合式净化空调机组和高效送风口共同来满足温度、湿度和洁净度的要求。空调的送风形式一般有一次回风系统、二次回风系统、新风加干盘管系统。2MAU+RCU+HEPA洁净空调系统图1为光伏行业洁净室目前最常用的MAU+0引言随着科学技术与工业技术的发展，为了保证生产产品的高精度、高纯度和高成品率，对空气的洁净度有了很高的要求。洁净室在新兴的光伏、电子行业，在传统的医药、精密机械、化工、食品等诸多行业都得到了广泛的应用。电子工业洁净厂房生产环境根据其生产工艺的特点和要求对房间内的微粒数量有严格要求，本文仅对空气洁净技术在电子行业中的特点及应用加以阐述。1洁净室空调系统的特点及风系统的形式电子行业洁净室在围护结构和空调系统气流组织上都有它独有的特点：(1)气流分布要求很均匀。目前洁净室洁净度等级共划分为9个级别(见表1)，1～5级的气流组织为单向流或混合流，气流平均风速为0.20～0.45m/s，6～9级则采用非单向流[1-2]。空气洁净度等级气流流型平均风速/(m/s)换气次数/h-1单向流或混合流非单向流非单向流非单向流1～5678～90.20～0.45———50～6050～6015～2510～15收稿日期：2013-02-26；修回日期：2013-04-0632VOF(1)SCRVVOF(2)SCRVVOF(3)RCU12℃7℃新风MAUHEPA送风酸排风回风图1MAU+RCU+HEPA空调系统示意图焓、减湿、再热、中效过滤、高效过滤后送入房间吊顶内，室内回风从回风夹道的下部侧回进入回风夹道由下至上进入吊顶，并和新风混合后送入小循环空调箱(简称RCU，RecycledAirHandlingUnit)，空气经RCU冷、热处理后通过高效送风口(简称HEPA，HighEff-iciencyParticulaterAirFilter)送入房间。MAU+RCU+HEPA系统具有以下几个特点：(1)房间内的温湿度分别控制。电子厂房的特点是产湿很少，所以控制房间的湿度主要是控制带入房间内新风的湿度，因此，该系统中房间的湿度由MAU控制，温度...