行业标准《碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法》（预审稿）编制说明-工作简况.立工程的及意义碳化硅具有宽的禁带宽度、高热导率、高击穿电场、高抗辐射能力、高电子饱和速率等特点，适用于高温、高频、抗辐射及大功率器件的制作，是第三代宽带隙半导体材料的重要组成单元。“统计目录”中3.4.3.1半导体晶体制造-3985*-电子专用材料制造（碳化硅单晶和单晶片）；“领航”中二、主要行动-（二）4先进半导体材料明确提及建立碳化硅标准；“指南”中三、开展方向（二）中明确提及宽禁带半导体材料；”首批次目录”中关键战略材料-三、第146项对应碳化硅单晶衬底。碳化硅中痕量杂质含量是决定碳化硅材料及其器件性能的重要因素，而碳化硅不溶于酸，因此，建立一种精确表征碳化硅中痕量杂质元素含量的检测手段对碳化硅生产过程质量控制有重要意义。1.任务来源2020年9月工业和信息化部以工信厅科函【2020】181号文下达该标准的制定任务,由国标（北京）检验认证负责《碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法》的起草工作；由南京国盛电子提供样品并进行验证工作、广东先导、天津46所负责二验。标准计划号为2020-0718T-YSo工程起止时间为2020年11月〜2022年，技术归口单位为全国有色金属标准化技术委员会。2.承当单位简况国标（北京）检验认证隶属于有研科技集团，是国家新材料测试评价平台-主中心承建单位，为中国新材料测试评价联盟秘书处挂靠单位。公司自成立以来，积极整合完善现有测试评价、设计应用、大数据等平台资源，逐步形成立足北京、布点全国、服务全行业的国家新材料测试评价平台。国标（北京）检验认证作为国合通用测试评价认证股份公司的全资子公司，前身是北京有色金属研究总院分析测试技术研究所，是国家有色金属行业最知名的第三方检验机构。国标（北京）检验认证运营管理着国家有色金属及电子材料分析测试中心和国家有色金属质量监督检验中心，拥有一支基础理论扎实、实践经验丰富的研究和服务队伍，自2004年至今共承当了国家科技支撑计划、国家863计划、国家自然科学基金、军工配套等省部级科技工程40余项；曾获国家科技进步奖6项，国家创造奖3项，省部级科技进步一等奖10项，二、三等奖107项；近5年获得国家创造专利20余项；负责和参加起草制订分析方法国家标准、行业标准300余项；国家标准物质/标准样品120个，在国内外科技期刊上发表论文800余篇，撰写论著22部。3.主要工作过程预研阶段2019年，国标（北京）检验认证组织相关专业技术人员成立标准起草小组，针对碳化硅单晶中痕量杂质元素的测定的实际需求情况进行了充分调研，开展了大量的碳化硅中痕量杂质元素含量的测定实验研究工作，于2019年5月国标（北京）检验认证于宁波会议上提出制订《碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法》有色行业标准的建议书。3.1立项阶段2020年9月工业和信息化部以工信厅科函【2020】181号文下达该标准的制定任务,标准计划号为2020-0718T-YS。标准名称《碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法》，技术归口单位为技术归口单位为全国有色金属标准化技术委员会。标准起草单位为国标（北京）检验认证，由南京国盛电子提供样品并进行验证工作、广东先导稀材股份、天津46所负责二验。3.2起草阶段标准编制组对标准文本做了屡次修改，严格按照行业标准的编写格式、结构和表述规那么撰写标准讨论稿。2020年H月，由中国有色金属工业标准计量质量研究所主持，在江苏如皋召开了讨论会，共有南京国盛电子、北京天科合达半导体股份有限公司、东莞市中线半导体科技、合肥中晶新材料、北京三平泰克科技有限责任公司、南京理工宇龙新材料科技股份、江苏秦烯新材料、江苏卓远半导体等12家与会专家对标准资料从标准技术内容和文本质量等方面进行了充分的讨论，形成了修改意见（见讨论会会议纪要）。根据会上修改意见对讨论稿进行了修改，形成了征求意见稿。3.3征求意见阶段2021年1月，标准编制组拟定了6家公司进行征求意见，有南京国盛电子、广东先导稀材股份、天津46所负责、北京天科合达半导体股份、北京三平泰克科技有限责任公司、东莞市中钱半导体...