2012年第04期Sum199No.04ChemicalEngineer文章编号：1002-1124（2012）04-0062-03工程师园地一种太阳能硅片清洗剂的制备方法王亚妮，刘军，李峰，许军训（陕西省石油化工研究设计院，陕西西安710054）摘要：研制一种用于工业生产中太阳能硅片的水基专用清洗剂，适用于硅片的表面清洗处理。该清洗剂以非离子表面活性剂和阴离子表面活性剂为主剂，溶液呈碱性，不含有机溶剂，无刺激性气味、成本低、具有良好的去污、清洗性能。清洗方法操作方便、无毒、对人体无危害、对环境无污染。关键词：太阳能硅片；表面活性剂；清洗剂中图分类号：TN305.2文献标识码：BApreparationmethodofthesolarsiliconwafercleaningagentWANGYa-ni，LIUJun，LIFeng，XUJun-xun（ShaanxiResearchDesignInstituteofPetroleumandChemicalIndustry,Xi'an710054,China）Abstract：Awater-basedcleaningagentispreparedforcommercialproductionofsolarsiliconwafer,itisap－pliedtocleanthesurfaceofasolarsiliconwafer.Thecleaningagentismadeupofnon-ionicsurfactantandan－ionicsurfactant.Itssolutionisalkaline,itdoesn’tcontainorganicsolvents,noirritatingodour,cheaperandgoodperformanceofcleaning.Thecleaningmethodiseasyandnon-toxiconhumanbeingsandtheenvironment.Keywords：solarsiliconwafer；surfactant；cleaningagent在光伏产业，硅片生产过程中需将硅片进行清洗，才能生产出合格产品。太阳能硅片表面污染物主要包括油脂、松香、环氧树脂、聚乙二醇等有机物，尘埃及其它颗粒污染和金属离子玷污等，它们通常以物理吸附和化学的方式存在于硅片的表面或硅片的自身氧化膜中。这些杂质严重影响着电池片的性能、可靠性和成品率。硅片清洗要求既能去除各类杂质又不破坏硅片[1]。硅片清洗技术的发展大致可分为4个阶段：第1阶，段建立了最初的化学和机械抛光，但由于处理不当，往往会造成金属杂质的重新沉淀以及金属杂质的再次污染；第2阶段，1961~1971年期间，使用最初的RCA-1清洗剂，该清洗技术的发展是清洗技术的历程碑；第3阶段，1972~1989年期间，这一阶段的工作主要集中于对RCA清洗化学原理，适用情况和影响因素等进行深入研究和分析，对RCA清洗技术进行改进；第4阶段，1990年至今，侧重于对溶液清洗机理和动力学的研究以及新型清洗技术的开发研究[2，3]。本实验目的在于研制一种碱性的、不含有机传统清洗方法的太阳能硅片水基专用清洗剂。该清洗剂以非离子表面活性剂和阴离子表面活性剂为主剂，清洗方法具有操作方便、成本低、无毒、对皮肤无腐蚀、对人体无危害、对环境无1实验部分1.1主要原材料脂肪醇聚氧乙烯醚；6501壬基酚聚氧乙烯醚；十二烷基苯磺酸钠LAS；三乙醇胺油酸皂；三聚磷酸钠；NaOH，以上均为工业品。乙二胺四乙酸二钠（C.P）.。1.2清洗剂的配方实验综合表1分析，最终确定3#为最佳配方。清洗剂配制步骤（1）将一定量的螯合剂乙二胺四乙酸二钠、十二烷基苯磺酸钠、三聚磷酸钠、NaOH及其它无机助剂等溶于适量的去离子水中，50~60℃加热搅拌均匀，使其充分溶解，制成溶液A；（2）将一定量的脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、6501、三乙醇胺油酸皂等溶于适量的去离子水中，50～60℃加热搅拌均匀，制成溶液B；（3）将溶液A与溶液B混合搅拌均匀，即1.3收稿日期：2012-03-08作者简介：王亚妮（1980-），女，工程师，主要从事太阳能硅片切削液、清洗液及砂浆回收方面的研究。2012年第4期王亚妮等：一种太阳能硅片清洗剂的制备方法63表1实验中优选的几组配方Optimizationofseveralformulationinexperimental脂肪醇聚氧乙烯醚与壬基酚聚氧乙烯醚为无色透明油状液体，这些表面活性剂完全溶于水，不燃、不爆、易生物降解，是清洗剂的主要成分。在硅片加工中不可避免地引入了Na、Mg、Ca等重金属离子。这些重金属离子会使少子寿命大大下降，漏电流增加。因此，在清洗剂中加入螯合剂可有效去除金属离子，因为螯合剂的主要成分是螯合环，它的两端有N-O共用电子对和金属离子作用，将其拉向螯合环，将金属离子包裹进去，即螯合作用。十二烷基苯磺酸钠LAS是一种阴离子表面活性剂，白色或淡黄色...