全板电镀流程操作手册2008年3月目录1.柏宇专利化学品名称与储存要求................................32．全板电镀线配槽步骤...........................................42.1新配槽的清洁处理方法..................................4配槽简表2.2..............................................4配槽步骤2.3..............................................53.全板电镀线设备要求...........................................54.药液生产控制范围.............................................65.药液补充量及槽液寿命.........................................66.生产线保养事项...............................................66.1定期保养..............................................6碳处理和阳极铜球处理..................................86.27.药品分析方法.................................................98.工艺问题处理简表.............................................119.基本化学药品名称和规.........................................16...................................................16产品说明书10.1．基本化学药品名称及规格1．1所需基本化学药品规格2.2.1硫化学)98重量S浓1.835-1.945密g/cmax.0.5ppmmax.5.0ppm2.2.2盐化学)37.5%含HClg/c1.16-1.20密重金max.1ppm2.2.3硫酸化学)min.98%CuSO.5HO成份重量比24氯max.0.02%重量比1.2含磷铜阳极规格含磷铜阳极>99.9%，不含CuCuO20.04-0.06%Pmax.0.001%Pbmax.0.002%Bimax.0.003%ASmax.0.003%Sbmax.0.003%Snmax.0.001%Znmax.0.003%Femax.0.008%Nimax.0.001%Semax.0.01%S2.全板电镀线配槽步骤2.1新药槽的清洁处理方法2.1.1药槽和有关设备的清洁方法1).用5%NaOH溶液浸缸，同时开启过滤泵/循环泵4-8小时后排放碱。2).再用清水冲洗用2%(v/v)硫酸溶液浸缸及同时开启过滤泵/循环泵4-8小时。3).排放硫酸液，然后用清水冲洗2.1.2过滤芯及阳极袋的清洁方法1).用2%(w/w)NaOH溶液浸泡4小时，然后用清水冲洗。2).再用2%(v/v)硫酸溶液泡4小时，然后用清水冲洗。2.1.3铜球的清洁方法1).用2%硫酸(v/v)和5%(v/v)双氧水(35%)混合溶液用作微蚀处理铜球表面。2).再用清水冲洗，并放入1%(v/v)硫酸溶液中储存备用。2.1.4阳极钛篮的清洁和电解处理1).用2-5%(v/v)NaOH溶液浸泡4-8小时，然后用清水冲洗。2).再用2%(v/v)硫酸溶液浸泡4小时。3).把钛篮放入注满10%硫酸的镀铜槽中的阳极位置。4).在阴极挂上不锈钢板。5).用6-8V电压，稳压电解处理钛篮约一小时。6).用去离子水彻底冲洗。2.1.5锡球的清洁方法1).用4%(v/v)硫酸溶液浸泡4-8小时。2).然后用清水冲洗，并放于1%(v/v)硫酸溶液中储存使用。2.2配槽简表配槽浓度100L配槽用量药品纵横比>纵横比纵横比纵横比纵横比纵横比7:1>7:13:1-7:13:1-7:1<3:1<3:16.0kg7.5kg硫酸铜45g/L60g/L75g/L4.5kg硫酸(98%)14.5L12.5L165ml/L145ml/L125ml/L16.5L氯离子分析添加分析添加75ppm75ppm75ppm分析添加酸铜添加剂4ml/L4ml/L400ml400ml4ml/L400ml1301M2.3配槽步骤工序配槽步骤酸性镀铜a.注入去离子水进入镀槽内至1/2水位。b.开动空气搅拌,加入适量的硫酸铜，c.小心慢慢地加入适量的化学纯硫酸，切勿使用工业级硫酸。入步骤中会产生大量热力，可帮助硫酸铜溶解。d.如有需要，可以作碳处理(详情可参考9.2部份)。e.加入去离子水至水位及搅拌均匀，先作定量分析，包括铜离子、硫酸和氯离子浓度，调校氯离子至约75ppm。f.待溶液冷却至约25?C左右可准备使用。g.用拖缸板先以10ASF拖缸1小时，然后15ASF拖缸2小时，最后用20ASF拖缸最少约2安培小时/升，使阳极表面产生阳极黑膜。h.再加入4ml/L酸铜添加剂1301M.i.当一层黑色的阳极薄膜产生(约2安培小时/升)，分析槽液，采用Hull槽实验确定光剂是否合适后，便可以进行电镀生产。在3.全板电镀线设备要求工序加热/冷却器过滤器打气/Eductor不需要酸浸不需要发热器及冷却器需要（酸性镀铜需要5-10?mPP棉芯）冷却管褪镀-不需要不需要摇摆幅度=25-50mm摇摆频率=10-15cycle/min4.药液生产控制范围温度控制药液控制分析频率每周一次每周工序范围建议值成...