几种常见气体传感器的研究进展李冬梅黄元庆张佳平张鑫辜克兢摘要：气体传感器日渐发展，其应用的范围越来越广，特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理，并对常见几种有毒性气体（一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物）和可燃性气体（氢气、甲烷）的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍，同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望。关键词：敏感材料；气体传感器；有毒气体；可燃性气体；MEMS技术中图分类号:TP212.2文献标识码:A一、前言1964年，由Wickens和Hatman利用气体在电极上的氧化还原反应研制出了第一个气敏传感器，1982年英国Warwick大学的Persaud等提出了利用气敏传感器模拟动物嗅觉系统的结构[1]，自此后气体传感器飞速发展，应用于各种场合，比如气体泄漏检测，环境检测等。现在各国研究主要针对的是有毒性气体和可燃烧性气体，研究的主要方向是如何提高传感器的敏感度和工作性能、恶劣环境中的工作时间以及降低成本和智能化等。下面简单介绍各种常用的气体传感器的工作原理和一些常用气体传感器的最新的研究进展。二、气体传感器的分类和工作原理[2－4]气体传感器主要有半导体传感器（电阻型和非电阻型）、绝缘体传感器（接触燃烧式和电容式）、电化学式（恒电位电解式、伽伐尼电池式），还有红外吸收型、石英振荡型、光纤型、热传导型、声表面波型、气体色谱法等。电阻式半导体气敏元件是根据半导体接触到气体时其阻值的改变来检测气体的浓度；非电阻式半导体气敏元件则是根据气体的吸附和反应使其某些特性发生变化对气体进行直接或间接的检测。接触燃烧式气体传感器是基于强催化剂使气体在其表面燃烧时产生热量，使传感器温度上升，这种温度变化可使贵金属电极电导随之变化的原理而设计的。另外与半导体传感器不同的是，它几乎不受周围环境湿度的影响。电容式气体传感器则是根据敏感材料吸附气体后其介电常数发生改变导致电容变化的原理而设计。电化学式气体传感器，主要利用两个电极之间的化学电位差，一个在气体中测量气体浓度，另一个是固定的参比电极。电化学式传感器采用恒电位电解方式和伽伐尼电池方式工作。有液体电解质和固体电解质，而液体电解质又分为电位型和电流型。电位型是利用电极电势和气体浓度之间的关系进行测量；电流型采用极限电流原理，利用气体通过薄层透气膜或毛细孔扩散作为限流措施，获得稳定的传质条件，产生正比于气体浓度或分压的极限扩散电流。红外吸收型传感器，当红外光通过待测气体时，这些气体分子对特定波长的红外光有吸收，其吸收关系服从朗伯—比尔(Lambert－Beer)吸收定律，通过光强的变化测出气体的浓度：（1）式中，am—摩尔分子吸收系数；C—气体浓度；L—光和气体的作用长度；—瑞利散射系数；—米氏散射系数；—气体密度波动造成的吸收系数；I0、I—分别是输入输出光强。声表面波传感器的关键是SAW(surfaceacousticwave)振荡器，它由压电材料基片和沉积在基片上不同功能的叉指换能器所组成，由延迟型和振子型两种振荡器。SAW传感器自身固有一个振荡频率，当外界待测量变化时，会引起振荡频率的变化，从而测出气体浓度。三、几种常见气体的传感器我们这里只介绍用于检测几种具有代表性的有毒气体或大气污染气体（CO、NOx、SO2、CO2）和可燃烧性气体（H2、CH4）的气体传感器。检测这些气体，有利于提高人们生活的质量，保护周围的生态环境，保障机器的正常安全生产，甚至保护人民的生命安全。1、CO传感器和最新敏感材料对CO气体检测的适用方法有比色法、半导体法、红外吸收探测法、电化学气体传感器检测法等。比色法是根据CO气体是还原性气体，能使氧化物发生反应，因而使化合物颜色改变，通过颜色变化来测定气体的浓度，这种传感器的主要优点是没有电功耗。半导体CO传感器，通过溶胶—凝胶法获得SnO2基材料，在基材料中掺杂金属催化剂来测定气体[5]。现国外有研究对SnO2基材料中掺杂Pt、Pd、Au等，并发现当传感器工作在220οC时，在SnO2中掺杂2％的Pt时，传感器对CO具有最大的敏感度。由于气体传感器的交叉感...