本文档下载自文库下载网，内容可能不完整，您可以点击以下网址继续阅读或下载：http://www.wenkuxiazai.com/doc/47a1292658fb770bf78a55f7.html一种聚合物实心微针的制作方法微针给药MEMS器件与技术MEMSDevice&Technology一种聚合物实心微针的制作方法肖丽君,陈翔,汪鹏,李以贵,陈迪(上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240)摘要:为实现制作微针加工工艺简单、加工周期短及成本低的目的,提出了一种制作聚合物微针的新方法,这种聚合物微针的制作过程主要包括三个部分:微针原始模具的制作、聚合物微针模具的制作和浇铸工艺复制微针。通过KOH腐蚀液刻蚀晶面为100的Si片和紫外线对准光刻SU8胶得到由Si2SU8胶构成的原始模具,再在该模具上注入聚二甲基硅氧烷(PDMS)进行转模,固化脱模后在PDMS微针二级模具表面溅射一层Cu/Cr金属薄膜,然后再注入PDMS,得到最终的聚合物微针模具,对该模具进行浇铸工艺,便可批量制作微针。通过浇注PDMS获得微针初始结构,使针尖和针体合为一体,提高了脱模的可靠性;通过改变设计,能得到不同截面尺寸和长度的微针,因此这种方法具有很高的灵活性。关键词:微针;原始模具;最终聚合物模具;针尖;针体;聚二甲基硅氧烷中图分类号:R197139;TH706文献标识码:A文章编号:1671-4776(2009)12-0744-06AMethodofFabricatingPolymerSolidMicroneedlesXiaoLijun,ChenXiang,WangPeng,LiYigui,ChenDi(KeyLaboratoryforThinFilmandMicrofabricationofMinistryofEducation,NationalKeyLaboratoryofNano/MicroFabricationTechnology,InstituteofMicoandNanoScienceandTechnology,ShanghaiJiaotongUniversity,Shanghai200240,China)Abstract:Anewmehttp://www.wenkuxiazai.com/doc/47a1292658fb770bf78a55f7.htmlthodoffabricatingpolymermicroneedleswasproposedtoachievethesimpleprocess,shortprocessingcycleandlowcostformicroneedlesfabrication.Theentirefabricatingprocessofpolymermicroneedlesincludesthefabricationoforiginalmold,thefabricationofpoly2mermoldandthecastingreplicationofpolymermicroneedles.AnoriginalmoldconstitutedwithsiliconandSU8epoxywasgottenthroughselectivelyetchingthe100planesofsiliconbypotas2siumhydroxide(KOH)andexposingSU8epoxywithultravioletlithographyalignmenttechnol2ogy.Throughpolydimethylsiloxane(PDMS)castedintothemold,aPDMSmoldwasmadeaf2tercuredanddemouldedfromtheoriginalmold.AlayerofCu/Crfilmwassputteredonthesur2faceofthePDMSmoldforeasyknockout,andthenPDMSwascastedintothePDMSmoldagainandcuredatasuitabletemperaturebeforeknockout.Hereto,apolymermicroneedlemoldwasmade.Polymermicroneedleswereproducedinbatchbycastingprocessbyusingthemold.TheresultsshowthatusingthePDMSmoldtoreplicatethepolymermicroneedlemoldcanimprovethhttp://www.wenkuxiazai.com/doc/47a1292658fb770bf78a55f7.htmlereliabilityofdemoulding,andthesectionsizeandlengthofmicroneedlescanbechanged收稿日期:2009-06-15基金项目:国家863高技术研究发展计划资助项目(2007AA04Z310)通信作者:陈翔,E2mail:xiangchen@stju.edu.cn肖丽君等:一种聚合物实心微针的制作方法bychangingdesigns.Sothismethodisalsoveryflexible.Keywords:microneedle;originalmold;finalpolymermold;microneedletip;microneedlebody;PDMSDOI:10.3969/j.issn.1671-4776.2009.12.008EEACC:2575F是制作三维微结构的重要技术,它使制作高精度、高深宽比的微结构成为可能。但由于受到X射线光源的限制,以及加工过程中需要沉积大面积毫米级的金属层作为衬底,所以微电铸时间较长。而UV2LIGA工艺在一定深宽比范围内的制造成本低廉,比LIGA工艺具有更明显的优势,目前已经成为制作三维微结构最有发展前途的技术。X1M1Jing等人[10]利用UV2LIGA技术和体微加工相结合的方法,成功地在刻蚀后的Si凹槽中制作了复杂形状的SU8微结构。根据以上背景,本文介绍了一种基于Si2SU82PDMS复合工艺的聚合...