多线锯振动辅助工程装置开发及实验研究本文是工程硕士论文，工程硕士论文是学术作品，因此其表述要严谨简明，重点突出，专业常识应简写或不写，做到层次清晰、数据稳当、文字凝练、说明透彻、推理严谨、立论正确，制止使用文学性质的或带感情色调的非学术性语言。论文中如展现一个非通用性的新名词、新术语或新概念，需随即解释领会。（以上内容来自百度百科）今天硕博网为大家推举一篇工程硕士论文，供大家参考。第1章绪论1.1课题的研究背景和意义随着全球高科技产业的迅猛进展，电子工业成为事关整个国民经济、国防创办、信息安好、科技进展的战略性产业。硅片切割是电子工业生产的关键技术，其切割的质量与规模直接影响整个产业链的后续生产，对硅片的需求主要表现在集成电路和太阳能光伏发电等半导体产业上。如图1-1所示，圆形的为集成电路硅片，方形的为太阳能硅晶片。集成电路（IC）是现代信息产业和信息社会的根基，是现代信息技术设备的核心元件，广泛应用在通信设备、计算机、工业自动化设备等领域，和我们的生产、生活紧密相连，变更了产业布局和经济布局，已成为衡量一个国家实力和技术进步的重要标志[1]。在集成电路产业中，硅集成电路占半导体生产的90%以上，集成电路的进展离不开高外观质量、高完整度、高精度的硅晶片[2]。随着集成电路产业的不断进展，功能不断升级，大直径的硅片需求量越来越大，对硅片切割的厚度、外观质量和加工效率的要求也越来越高此外，随着世界各国对能源需求的不断增长，传统化石能源已经不能得志人们日益增长的需求，并且过度的开采、使用化石燃料会加速环境污染。绿色、可再生能源的开发利用是解决人类能源危机的必然之路，太阳能是取之不尽用之不竭的清洁能源，具有巨大的开发价值。近10年以来，全球光伏产业得到了极其迅猛的进展，太阳能光伏电池组件年产量增长了9倍，如图1-2所示为从2022年到2022年全球光伏装机容量增长量及进展趋势图[3-4]。从图1-2中可以看出，2022年之前全球光伏产业进展迅猛，由于金融危机及欧洲市场表现低迷，2022年全球光伏装机容量增长率展现下降，但随着政策调整及新兴市场对光伏产业需求增长，其新增装机容量呈稳步增长趋势。我国自2022年之后，太阳能电池产量居世界第一，已经成为世界光伏电池制造的中心。目前，我国正在加大太阳能方面的创办和利用，2022年至2022年，年均新增光伏发电装机容量1000万W左右，到2022年总装机容量达成1亿W以上[5]。国家政策的大力支持，将会推动中国太阳能光伏发电产业的快速健康进展，商业化太阳能利用也已成为进展的必然趋势。..........1.2硅片切割技术硅片切割是硅片加工的关键工序，其加工方式和所采用的加工技术将直接影响加工效率和加工质量。对于切片工艺技术的原那么要求是[10]：（1）切割精度及外观平行度高、翘曲度和厚度公差小。（2）断面完整性好，无刀痕、拉丝和微裂纹。（3）成品率高，切缝校，原材料损耗低。（4）切割效率高，实现自动化切割。硬脆材料切割技术按其技术特征，大体可分为三个主要阶段：外圆切割技术、内圆切割技术和线切割技术[11-16]。外圆切割方式是通过夹持在高速旋转主轴上的薄片金刚石砂轮，对沿着切刀旋转的径向方向进给的硅棒举行切割，外圆切割中，刀刃在片状圆盘切刀的外圆片面，其布局如图1-3所示。随着硅片加工尺寸的增大，外圆切刀轻易产生变形和侧向摇摆，影响切割质量，其硅片切割直径被限制在100mm以内，很快被内圆切割技术所代替[11]。..........第2章振动作用下多线切割加工理论分析2.1引言硅作为一种硬脆性材料，与金刚石晶格布局类似，具有高硬度、高耐磨性高脆性等性能。硅的硬度高且方向性强，不轻易发生塑性变形，但是硅晶体抗剪应力较差，在加工过程中，当多晶硅晶体承受较大的抗剪应力时，硅片就轻易产生破损[27]。同时，硅晶体作为硬脆性材料，机械切割过程中，硅晶体外观轻易产活力械损伤层，由于硅片自身存在的物理性质对其加工工艺提出相当高的要求。...........2.2游离磨料线锯材料移除理论硅晶片多线切割机的切割原理是：以高速运动的钢线为载体，SiC颗粒作为切割刃，在钢线带动下，SiC颗粒高速运动，实现对硅...