中华人民共和国国家标准真空镀膜设备通用技术条件GB11164—89Vacuumdepositionequipmentsgenericspecification1主题内容与适用范围本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于压力在1×105～1×10-4Pa范围的各种类型真空镀膜设备（以下简称设备）。2引用标准GB6070真空法兰GB191包装储运指示标志GBn193出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件3技术要求3.1正常工作条件a.温度：10～30℃；b.相对湿度：不大于80%；c.冷却水进水温度：不高明于25℃；d.冷却、加热等循环用水的质量：采用城市自来水或质量相当的水；e.供电电源：380V三相50Hz或220V单相50Hz（由所用电器需要而定）；电压波动范围：342～399V或198～231V；频率波动范围：49～51Hz；f.设备工作所需的压缩空气，液氮、冷、热水耗量均应在产品说明书中写明；g.环境：室内应整洁；地面、天花板及设备周围墙壁应干净；空气应清洁，不应有可引起电器及其它金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。3.2特征参数3.2.1设备的主要技术参数符合表1的规定。3.2.2设备的淀积源的工作状况应稳定，并易于调节控制。对各种类型淀积源（如：电阻蒸发源、电子束蒸发源、空心阴极蒸发源、孤光放电蒸发源及各种磁控溅射源等）的技术要求，由相应的产品标准予以具体规定。3.3结构要求3.3.1设备的结构设计应布局合理，造型美观，操作简便，便于维修并符合经济、安全高效的原则。3.3.2设备中的真空管道，静动密封零部件（法兰、密封圈等）的结构型式和尺寸，应符合GB6070的规定。3.3.3在低真空和高真空管道及真空镀膜室上应装设真空测量规管，分别测量各部位的真空度3.3.4如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设油蒸气捕集阱。3.3.5设备的镀膜室应设有观察窗，对在镀膜过程中发生射线的设备，观察窗镜上应加装防射线镜片。5-13.4制造质量3.4.1设备主要零部件的材料应符合相应的材料标准的规定，且应具有质量合格证书。如证书不全或制造部门有疑问时应由制造厂检验部门负责复验。表1参数名称参数数值真空镀膜室尺寸分档mm3201),5001),600,6301),700,8001),900,10001),1200,12501),1400,16001),1800,20001)；真空指标分档ABC极限压力≤5×10-4Pa≤5×10-3Pa≤5×10-2Pa恢复真空抽气时间从大气压抽至7×10-3Pa从大气压抽至7×10-2Pa从大气压抽至7×10-1Pa镀膜室容积≤1m3≤20min≤15min≤15min＞1m3～4m3≤30min≤20min≤20min有效加热区加热均匀度按产品说明书或由用户隔壁制造厂所订协议约束返油率按产品说明书或由用户与制造厂所订协议约束设备最大功率按产品说明书注：表1所列真空镀膜室的几何尺寸，对钟罩（圆筒）式为钟罩内径，对箱式为箱内宽度。带1）号尺寸优先选用。其它尺寸和其它结构形式的设备可由制造厂参照上述尺寸决定。专用设备由用户与制造厂另订协议。3.4.2镀膜室内壁表面及各密封表面的粗糙度应达到Ra≤3.2μm。3.4.3设备的零部件的机械加工质量及设备的焊接件的质量，均应符合制造厂技术文件的规定。3.4.4装有离子轰击装置和气体流量微调阀的设备应进行离子轰击试验，该试验应表明微调阀灵敏且连续可调，在规定电压及真空度下气体放电稳定。3.4.5设备的装配质量应符合制造厂技术文件的规定。装配时对工作时处于真空的各表面应进行有效的真空清洁处理并予以干燥，各转动件装配后应能灵活转动，不得有卡、滞、松、抖等现象，升降机构动作时应平稳、无抖动，威氏动密封等需用润滑脂的动密封处应充满真空油脂。3.4.6在被镀件加热过程中，设备应能正常连续工作，包括转动件自如，无卡、滞、松、抖等现象3.4.7设备所配用的自制或外购的零部件都应符合相应的产品标准的规定，并应具有质量合格证或经制造厂检验部门检验合格后方可配入设备使用。3.4.8设备配套的电气装置的制作质量应符合制造厂技术文件的规定，并应保证设备运行和操作时的安全可靠。装置中线路的排布应整齐、清晰，便于检修。装置中各电气回路的绝缘电阻值，对于500V以下，不得低于2MΩ，对于501～1000V，不得低于2.5MΩ；对于1001～3000V，不得低于3.5MΩ；对于3001～10000V...