rofin报警表

状态信息/故障报警:故障报警文本中带“*”的报警必须按RESET键。主电源故障:斜体为较常见报警输入点解释报警结果激光器显示内容主电源电压>±10%或输入相序错误。主电源,计算机,高压电源关闭。DisplayisOFF(notextdisplaypossible!)状态信息:输入解释报警结果激光器显示内容----------谐振腔正在抽真空(在真空测试或激光气体更换过程中)高压锁定EVACUATION----------激光气体正在更换。该功能可以用服务菜单对应的功能键激活。高压锁定GASEXCHANGE----------谐振腔正在充气(激光气体在更换)高压锁定GASFILLING----------主电源关闭处在准备启动主电源状态。.高压锁定MAINSOFF----------真空测试正在进行。真空测试功能可以在服务菜单中用开关ON或OFF完成。高压锁定VACUUMTESTX100.2X100.4当主电源按钮ON之后,RF管的灯丝ON之前,电脑将检测正确的冷却水流量,最多不超过3分钟。高压锁定WATERTEST报警信号:激光气体压力超过真空室上限,该信号表示激光气体需要立即更换。无CAVITYPRESSUREX100.7报警信号:气瓶中的激光气体压力(S26压力开关)太低或气瓶没打开或气瓶中的激光气体压力(P<30bar)。气体无法更换*GASBOTTLEPRESSURE----------报警信号:72小时没有更换气体,在下一个24小时内高压将被锁定。可以工作24小时*GASCHANGEINMAX24hX130.6报警信号:真空泵电机的断路器Q4跳闸。气体无法更换*I>VACUUMPUMPX140.报警信号:无LASERWARNINGLAMP---本文来源于网络,仅供参考,勿照抄,如有侵权请联系删除---4激光警示灯的电流监视继电器没给出反馈信号(警示灯故障)。X100.5报警信号:激光束望远镜系统的(压力开关或恒温器)S24已断开。激光器使用的高纯氮气压力低高压锁定*PRESS/T.TELESCOPE输入点解释报警结果激光器显示内容----------报警信号:激光器的一个或更多元件已经达到服务周期(需要维护)。每2000小时出一次无SERVICEINTERVALallX.....24V电源关闭(当没有24V电源时,故障报警不能显示,因为显示器也是由24V电源提供的)。主电源关闭*24VSUPPLYX14/X24----连接LasConCPUX24和LasConIOX14(CANbus)之间的电缆中断。----在LasConCPUX14或LasConIOX24(在每个盒子中2脚和7脚之间120欧姆)的终端电阻脱落。----LasConIO不是在"module1"的位置。(必须旋转LasConIO的开关设定一次。(在module运行期间)从位置"0"到"1")主电源关闭,高压关闭*CANBUSERRORX110.2水温超出最大或最小的设定范围高压锁定*COOLINGWATERTEMP.----------谐振腔抽真空超过最大允许时间。高压锁定/停止气体更换*EVACUATIONTIMEX100.6RF发生器风扇的动态压力计S25测量的动态压力太低或相序错误。高压和真空泵锁定*FANRFGENERATOR----------充气到真空室的最大允许时间超过。可能气瓶没打开或瓶没气。高压锁定停止气体更换*GASFILLTIMEOUTX100.7X130.6出现激光气体更换故障,或不能进行气体更换。高压锁定停止气体更换*GASCHANGEFAULT----------激光气体必须更换。气体更换已经超过96小时高压锁定*GASCHANGEREQUIREDX110.RF管的栅极控制测量到平均栅高压锁定*GRID---本文来源于网络,仅供参考,勿照抄,如有侵权请联系删除---1极电流太大。CURRENTX130.2检测到高压电源过流或短路。高压锁定*HVOVERCURRENTX140.6高压软启动装置没有给出反馈信号。高压锁定*HVSOFTSTARTFAULTX130.2高压过流测量没有给出反馈信号。主电源和高压锁定*HVMONITORINGX130.7(激光头或控制柜)风扇电机的断路器Q5或Q6跳闸。高压锁定*I>FANSX130.5RF管灯丝的断路器Q3跳闸。高压锁定*I>FILAMENT----------检测到高压电源过流。高压锁定*IaOVERCURRENTX120.5激光头的门或外部互锁开路。高压锁定*INTERLOCK/DOORS输入点解释报警结果激光器显示内容X140.5当高压被锁定时,高压接触器K1没有断开。主电源和高压锁定*K1FAULTX130.8当主电源被锁定时,主电源接触器K3没有断开。主电源和高压锁定*K3FAULT----------激光功率超过最大/最小允许范围(检查激光器高纯氮气质量和供电,如果排除则可能需要维护)高压锁定*LASERPOWERLIMITX140.4激光辐射警示灯的电流监视继电器没有反馈信号(激光辐射警示灯损坏)。高压锁定*LASERWAR...

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