国家标准-蓝宝石单晶晶棒-编制说明送审稿

国家标准《蓝宝石单晶晶棒》编制说明(送审稿)一、工作简况1、立工程的与意义蓝宝石晶体,化学成分是氧化铝(AI2O3),属于三方晶系,化学性质稳定,熔点2050,℃工作温度可达1900℃o蓝宝石在0.15um〜7.5um波段的透过率可到达85%以上,具有优异的光学性能。此外,蓝宝石莫氏硬度9级,具有耐磨和耐风蚀的特点。这些优良的光学、力学、热学、化学及电学性能决定了蓝宝石在军事及民用领域中的重要地位和作用。随着电子信息技术的开展,尤其是半导体照明产业的飞速开展,对蓝宝石基片的市场需求也越来越强烈。由于在透红外光、介电性能和抗划伤等方面的突出优势,蓝宝石不仅可以使触摸屏的敏感度和反响速度更高,且硬度大可以抵挡刀划等各种磨损,因此被广泛应用于消费电子领域,主要包括智能手机摄像头的保护盖板、指纹识别HOME键盖板、智能手表屏幕盖板以及未来可能推广的智能手机屏幕盖板等。近年来,蓝宝石单晶的品质、长晶工艺技术、生产规模以及晶体的尺寸等较10多年前有了极大的提升,主要表达在以下几个方面:1、蓝宝石晶体的重量从几十公斤增加到400公斤以上,成品可加工3500mm以上的蓝宝石晶片,其生长技术及加工技术日趋成熟。2、100mm(4英寸)、150mm(6英寸)蓝宝石衬底片均已经规模化加工和应用,200mm(8英寸)蓝宝石衬底片也逐步进入市场。3、蓝宝石晶体的品质逐渐提升,国内外客户对晶体的纯度、位错密度、透过率等技术指标的要求更高。因此,原有的标准GB/T31092-2014所规定的技术要求已远远满足不了蓝宝石实际的市场需求,鉴于蓝宝石单晶近几年的迅速开展,需要对GB/T31092-2014《蓝宝石单晶晶锭》标准进行修订,以引导蓝宝石行业开展,满足市场需求和促进技术进步。2、任务来源根据《国家标准化管理委员会关于下达2020年第四批推荐性国家标准计划的通知》(国标委发[2020]53号)的要求,由天通银厦新材料等单位负责修订《蓝宝石单晶晶棒》,计划编号20204894-T-469,工程周期18个月,要求完成时间2022年6月。3、主要工作过程起草阶段工程立项之后,成立了以天通银厦新材料牵头的编制组单位,经调研国内生产企业的生产现状及技术开展趋势,考虑用户的当前使用要求及以后技术开展的潜在使用要求,于2020年11月形成了讨论稿。2020年12月14日,由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会组织,在山东省聊城市组织召开了国家标准《蓝宝石单晶晶棒》第一次工作会议(讨论会),与会专家对标准进行了逐条讨论,并对标准的具体修订内容提出了珍贵的意见。会后编制组根据专家意见对标准稿件进行修改,并于2021年4月形成了征求意见稿。3.1、征求意见阶段2021年5月,编制组发函征求意见,征求意见的单位包括主要的生产、经销、使用、科研、检验等,征求意见单位广泛且具有代表性。共发函19家单位,形成33项意见,具体见意见汇总表。2021年6月9日,在江苏省如皋市由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会组织召开国家标准《蓝宝石单晶晶棒》第二次工作会议(预审会)。来自东莞中稼半导体、浙江晶锐电子科技公司、中科院上海光机所、丹东新东方晶体仪器等16家单位20余名专家参加了本次会议。与会专家对标准进行了逐条讨论,并对标准的具体修订内容提出了珍贵的意见。会上对标准稿件进行仔细的讨论,形成了修改建议,具体见意见汇总表。会后编制组根据专家意见对标准稿件进行修改,并于2021年11月形成了送审稿。4、主要起草单位和工作成员及其所作的工作工程牵头单位天通银厦新材料主要从事蓝宝石晶体材料的研发、生产、加工、销售的高新技术企业。经过几年的开展,天通公司凭借独特的改良泡生法C向长晶技术,其蓝宝石生产和加工技术位居国际领先水平。目前已经拥有蓝宝石长晶设备500台套、加工设备300台套,具备100、130、160、400公斤级晶体的生长能力以及4、6英寸蓝宝石衬底片的加工能力。二、标准编制的原那么及确定主要内容的依据1、编制原那么本标准起草单位自接受起草任务后,成立了标准编制工作组,负责收集生产统计、检验数据、市场需求及客户要求等信息。以国家标准GB/T31092-2014《蓝宝石单晶晶锭》为基础,初步确定了《蓝宝石单晶晶棒...

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