AlN陶瓷的显微结构、相组成和性能.

第33岱增川I2004印6JJRARE稀有金属材料与工程METALMATERIAI..SANDFNGlNFFRlNGV01.33,Suppl.IJune2004AIN陶瓷的显微结构、相组成和性能秦明礼1,曲选辉1,段柏华2,徐征宙1,汤春峰2(1北京科技大学,北京100083)(2中南大学粉末冶金国家重点实验室,湖南长沙410083)摘要:以比表面积为4.26m2/g、氧含量为0.98%和比表面积为17.4m2/g、氧含量为1.69%的两种AIN粉末为原料制备A1N陶瓷,研究了显微结构、相组成和陶瓷性能的关系,结果表明:致密度和氧含量是影响AIN陶瓷热导率的关键I大J素。添加5%Y203作为烧结助剂,在1650。C烧结3h后,燃烧合成前驱物合成的A1N粉末的烧结试样已经致‘密,材料的热导率口J达132.4W・m。・K~,而沉淀前驱物合成粉术的‘试样尚未致密,热导率仪为48.7W・m。-K~。在材料获得致密后,tlI氧杂质引起的桐组成和结构缺陷成为热导率的控制㈥素,住1850℃烧结后,两种粉未的烧结试样都获得致密,ffl由J二燃烧合成前驱物合成的AIN粉术氧含最『西,所制备的陶瓷材料中结构缺陷多,热导j簪为154.3W-11"1~・K~,低J:沉淀前驱物合成粉术的烧结试样的热导率(为183.6W・m~・K。1)。关键词:AIN陶瓷;热导率;显微结构;第i相中图法分类号:TQl74文献标识码:Al瓷,必须解决两个问题:第一是要提高材料的致密度,刖吾第二是选择纯度高的粉末,并在高温烧结时,要尽量避免氧原子溶入A1N的品格中。为了获得高致密度的陶瓷材料,通常需要添加氮化铝陶瓷具有高的热导率、低的介电常数和介电损耗、可靠的电绝缘性、耐高温、耐腐蚀、无毒、良好的力学性能以及与硅相匹配的热膨胀系数等一系列优良“性能,在许多高技术领域的应用越来越广泛【21。A1N是绝缘陶瓷材料,属于声子导热机制,声子平均自由程愈长,材料的热导率愈高。在热传输过程中,晶体IJ-1的缺陷、晶界、空洞等都会产生声子散射,降低声子的平均自由程,从而进一步影响热导率。A1N属于共价化合物,熔点高,原子自扩散系数小,因此,纯净的AlN粉末在通常的烧结温度下很难烧结致密,而致密度不高的材料很难具有高的热导率。除了致密度外,另1个影响A1N陶瓷热导率的重要因素是杂质含量,尤其是氧含量。由于AIN对氧有强烈的亲合力,部分氧会固溶入氮化铝的点阵中,形成铝空位,铝空位散射声子,降低了声子的平均自由程,导致热导率下降[31。因此,要制备高热导率的AIN陶Y203,CaO,MgO,CaC2,CaF2等各种稀土金属和碱土金属的氧化物、碳化物及氟化物作为烧结助剂【4划】,这些烧结助剂直接影响了AlN陶瓷中第二相的种类、数量和分布,并进一步影响A1N的导热性能。本工作中采用两种比表面积和氧含量不同的A1N粉末为原料,研究了AIN陶瓷显微结构、相组成和热导性能的关系。2实验方法两种AlN粉末均采用碳热还原法制备而成,AlN粉末1采用沉淀前驱物制备而成,AlN粉末2采用低温燃烧合成前驱物制备而成,两种粉末的具体制备工艺如文献[9,10]所述。表1列出了两种AIN粉末的性能,可以看出两种粉末的比表而积和氧含量差别较表1原料粉末的性能Table1Propertiesofrawmaterials收稿日期:2003—09.22基金项目:国家杰山青年科学壤金(50025412)和国家乖点基础研究发展规划(G2000067203)作者简介:秦明礼,男,1975年生,博士,讲师,北京科技大学利料科学与上程学院,北京100083,电话:010-62332727,E—mail:mlqin75@hotmail.com增刊1秦明礼等:AIN陶瓷的显徽结构、相组成和性能大,AIN粉末I的比表面积和氧含量分别为426m2幢和O98%,AIN粉末2的比表面积大,为17.4m‰,3结果与讨论3.1密度和显微结构众所周知,比表面积是影响陶瓷烧结性能的重要因素之一,随着...

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