制造执行系统论文制造执行系统CORBA过程监控半导体设备通信标准

制造执行系统论文:基于MES平台的生产过程监控系统研究与实现【中文摘要】目前,越来越多的制造企业根据其自身业务流程通过部署和实施制造执行系统(MES)来进行生产管理和提高产能,实现与下层过程控制系统(PCS)和上层企业资源计划(ERP)的信息沟通。生产过程监控系统作为MES中重要子系统,实现了产品生产流程和设备工艺参数的匹配监控,对于提高设备产能,保证设备自动化运转发挥了重要作用。半导体行业作为资本集中与工艺复杂的代表行业,单纯依靠人工进行生产监控存在信息量少,差错率高且信息滞后等问题,严重影响设备产能。因此,面向半导体行业研究并实施基于MES平台的生产过程监控系统是十分必要的。本文分析了半导体企业的现状和半导体行业业务流程,针对传统半导体企业单纯依靠人工进行生产监控的弊端,研究了基于MES的生产过程监控系统的解决方案。针对当前MES解决方案面向特定行业中特定企业的现状,本文基于半导体设备通信标准(SECS)对设备通信信息格式进行了研究,提出了通过增加信息项实现格式扩展性的方法,并在此基础上优化了基于MES的生产过程监控系统的数据采集模块,使之可以兼容不同的设备通信格式;通过对MES相关理论和基于MES的过程管理功能模型的研究,设计了系统的总体结构、功能模块和系统•••【英文摘要】Nowadaysmoreandmoremanufacturingcompaniesaccordingtotheirbusinessprocessesmanagetheproductionandimproveequipmentproductivitythroughthedeploymentandimplementationofmanufacturingexecutionsystems(MES)・Asalinkbetweenprocesscontrolsystem(PCS)andenterpriseresourceplanning(ER卩),MEScancommunicatewiththemandtransmitinformationinproductionprocess.TheproductionprocessmonitoringsystemisanimportantsubsystemofMES,whichcancheckmatchingbetweenproductionprocess・・・【关键词】制造执行系统CORBA过程监控半导体设备通信标准【英文关键词】manufactuTingexecutionsystemCORBAprocessmonitoringsemiconductorequipmentcommunicationstandard【索购全文】联系皀QI:138113721皀Q2:139938848同时提供论文写作一对一辅导和论文发表服务•保过包发【目录】基于MES平台的生产过程监控系统研究与实现致谢5-6中文摘要6-77第一章绪论11-151.1论文研究的背景及意义11-121.2国内外研究现状12-131.3论文研究内容131.4本文的结构13-15第二章相关理论综述15-24:2.1制造执彳丁系统(MES)综述15-202.1.1MES的定义15-162.1.2MES的作用162.1.3MES的发展过程16-172.1.4MES标准SP9517-182.1.5MES的功能模型18-202.2MES中过程管理20-232.2.1MES过程管理综述20-212.2.2过22-232.3本章小结23-24笫三章基于MES平台的生产过程监控系统分析24-363.1半导体行业研究24-263.1.1半导体企业现状24-253.1.2半导体行业业务流程25-263.2需求分析263.3半导体设备通信信息格式研究26-333.3.1半导体设备通信标准综述26-313.3.2半导体设备通信信息格式扩展性分析31-333.4技术路线的选择33-353.4.1系统体系结构的选择333.4.2数据库的选择333.4.3开发工具33-353.5本章小结35-36第四章基于MES平台的生产过程监控系统设计36-574.1系统设计的总体目标及原则364.1.1系统设计的总体目标364.1.2系统设计原则364.2系统总体结构设计36-384.3系统各部分功能分析38-404.3.1设备客户端功能分析38-394.3.2服务端功能分析394.3.3通信中间平台39-404.4服务端设计40-494.4.1服务端模块的划分41-444.4.2服务端的数据设计44-454.4.3服务端数据库设计45-494.5客户端设计49-564.5.1客户端模块划分49-524.5.2客户端的数据设计52-564.6本章小结56-57第五章基于MES平台的生产过程监控系统实现与测试57-775.1通信中间平台实现57-595.1.1ACE-5.5+TA0-1.5在SolairslO上的部署575.1.2CORBA接II与通信中间平台的实现57-595.2服务端的实现59-645.2.1启动模块的实现59-605.2.2信息接收与信息项获取模块60-625.2.3信息处理模块62-645.2.4数据库管理模块实现645.2.5H志管理模块实现645.3客户端的实现64-695.3.1命名解析模块的实现64-655.3.2设备信息管理模块实现65-665.3.3信息格式转化模块实现66-675.3.4通信配置管理模块实现67-685.3.5口志管理模块实现68-695.4系统功能测试69-765.4.1系统测试环境695.4.2测试用例69-705.4.3基本功能测试70-725.4.4设备信息格式兼容性测试72-765.5本章小结76-77第六章总结与展望77-79参考文献79-81作者简历81-83学位论文数据集83

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