ＤＯＩ：１０．３９６３／ｊ．ｃｎ．４２－１７８３．ＭＡＵ＋ＤＣ＋ＦＦＵ净化空调系统简介胡佳佳摘该文简要介绍电子行业洁净室净化空调系统的特点，针对目前电子行业常采用的ＭＡＵ＋ＤＣ＋ＦＦＵ净化空调系统，通过设计实例对该系统的空气处理过程进行分析与计算。关键词：电子行业；洁净室；分析与计算ＭＡＵ＋ＤＣ＋ＦＦＵ；ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎｔｏＭＡＵ＋ＤＣ＋ＦＦＵａｎｄＰｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎｏｆＡｉｒＣｏＡｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｉｓｐａｐｅｒｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｐｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎｏｆａｉｒｃｏｎｄｉｔｉｏｎｉｎｇｓｙｓｔｅｍｉｎｔｈｅｐｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎｒｏｏｍ电子行业洁净室净化空调系统的特点相比舒适性空调系统，电子行业洁净室净化空调系统具有以下明显不同的特点。送风量大１１．对普通办公楼与电子行业洁净厂房的风量做比较，两者大致数值见表１。电子行业洁净室内工艺设备有一定的工艺排风量，而洁净室必须要保持恒定的正压，才能防止邻室不同级别的空气对它产生干扰。为了表１普通办公楼与电子行业洁净厂房的风量比较ｍ３／（ｍ２·ｈ）建筑类型普通办公楼电子行业洁净厂房（半导体）送风量２０１１００新风量５４０保持洁净室内正压和满足卫生条件，必须补充大量新风；为了保证高洁净度，洁净室应有较高的换气次数。空调负荷大普通办公楼的单位建筑面积的冷负荷在１５０Ｗ／ｍ２左右，而电子行业洁净室的冷负荷可能达到４００～１０００Ｗ／ｍ２。从负荷因素来看：电子行业洁净室的空调能耗中工艺设备负荷、１．表２广东某万级洁净室冷负荷的成分组成负荷分类设备负荷新风负荷建筑／照明／人体负荷等占总负荷比例／％４１．４８．１０新风负荷为主体，一般均占９０％，表２为广东某万级洁净室（此次案例）冷负荷的成分组成。气流组织方式特殊洁净室气流组织方式主要有单向流（层流）和非单向流（乱流）两种方式。洁净室气流组织方式和送风量（换气次数）可按我国国家标准ＧＢ５００７３—２００１所规定的执行，一般ＩＳＯ１－５（百级及以上）为垂直或水平单向流，ＩＳＯ６－９（百级以下）为非单向流１．收稿日期：２０１１－１２－２３．作者简介：胡佳佳（１９８５－），工程师．Ｅ－ｍａｉｌ：ｊｉａｎｃａ１３控制精度高电子产品的制造工艺对温湿度的变化极为敏感，所以洁净室内的空气参数波动要有很高的控制精度，洁净空调系统目前普遍采用ＤＤＣ自控系统。２ＭＡＵ＋ＤＣ＋ＦＦＵ净化空调系统简介ＭＡＵ＋ＤＣ＋ＦＦＵ净化空调系统即是组合式新风机组（Ｍａｋｅ－ｕｐＡｉｒＵｎｉｔ）＋干盘管（ＤｒｙＣｏｉｌ）＋风机过滤单元（ＦａｎＦｉｌｔｅｒＵｎｉｔ）系统，其工作原理如图１所示。该系统中室外新风组合式新风机组（ＭＡＵ）初中效过滤（Ｇ４／Ｆ８）、热湿处理后送入顶棚，由ＭＡＵ调节室内环境湿度。干盘管（ＤＣ）主要消除室内显热来控制室内温度；循环回风从回风墙到顶棚时经过干盘管除去显热，由于干盘管供回水温度为１３～１８℃，换热器表面温度高于回风的露点温度，运行时换热器表面没有冷凝水析出。ＦＦＵ负责室内的洁净度，安装在顶棚龙骨天花上，经过ＭＡＵ处理的室外新风和经过ＤＣ处理后的回风由ＦＦＵ风机加压后经过ＨＥＰＡ（ＨｉｇｈＥｆｆｉｃｉｅｎｃｙＰａｒｔｉｃｕｌａｔｅＡｉｒＦｉｌｔｅｒ高效空气过滤器）或ＵＬＰＡ（ＵｌｔｒａＬｏｗＰｅｎｅｔｒａｔｉｏｎＡｉｒＦｉｌｔｅｒ超高效空气过滤器）过滤送入室内。ＨＥＰＡ处理对象为粒径＞０．５μｍ尘粒，效率范围为＞９９．９１．ＭＡＵ＋ＤＣ＋ＦＦＵ净化空调系统与传统的ＭＡＵ＋ＡＨＵ＋ＨＥＰＡ系统相比有以下优点：１）系统非常灵活，可随时调整，因洁净室的壁板都以天花板格子的模数来布置，并且由于其特殊的节点构造，洁净室的壁板可以随时调整位置，以此改变房间的布局。同时如果房间的洁净度需要调整，可以通过增减ＦＦＵ数量的方法来实现。这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能的。２）出风均匀稳定，因自带风机，出风均匀而稳定。避免了集中送风系统各送风口风量...