前言：有数据显示，2008年全球所有光伏电池和模组制造设备销售额达44亿美元。而据中国电子专用设备工业协会统计的数据，2008年全年中国太阳能光伏设备销售收入将达到25亿元。目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、太阳能电池片、组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与产业链相应的检测设备、模拟器等,已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备等开始出口。值得一•提的是，硅材料加工设备中单晶炉以优良的性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量出口亚洲，多线切割机己取得突破，多晶硅铸锭炉己经开始人量在国内企业中使用。继《光伏信息》报2009年第49期（4月刊）《金融危机下中国多品硅项日大盘点》专题厉，本刊乂推岀此次《中国品体硅电池制造设备现状调查》专题，数据难免有些出入，肯切期望中国光伏设备企业批评指正。（由于时间原因，部分企业未能录入，敬请原谅）据中电四十八所提供数据显示，在10太阳能电池制造生产线设备中，国产设备己能提供其中的8种，其中有6种（扩散炉、筹离子刻蚀机、清洗/制绒机、去磷硅玻璃（PSG）设备、低温烘干炉）已在国内生产线上占据主导地位，2种（管式PECVD、快速烧结炉）与进口设备并存但份额正逐步增人。但是，全自动丝网卬刷机、自动分拣机、平板武PECVD仍然依赖进口。目前国内太阳电池注流建线方案为国产和进口设备混搭，基本以国产为主。设备投资方面，一条25MW的标准生产线需3400-6000万元。我国太阳能电池制造设备目前的技术水平如下：首先，在湿法腐蚀、淸洗设备、扩散方面，主要是白动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去PSG设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平,且性价比优势十分明显；第二，国产PECVD（管式）的工艺结果已接近世界先进水平，这是这种设备的优势。但它的白动化程度（H动装卸片）不如进口设备（进口设备如徳国Centrotherm公司产品，售价是国产设备的三倍左右），平板型PECVD日前国内12有企业生产，有待进一步验证；第三，国产丝网印刷机（只有手动），与进口白动化产品的差距也是在自动装卸片（机械手）和自动检测手段上，全自动丝网印刷机□有企业生产，工艺有待进一步验证；第四，髙温烧结炉技术提髙，开始批量在人线上使用；第五，自动检测分拣设备1=1前国内已达到国际中等水平。然而，尽管国产太阳能光伏设备在国内用户中已建立起良好的信誉，得到业界的广泛认可，越來越多的客户从价格适中、性能良好、技术不断进步的国产设备中受益。但我们也应该看到，国内半导体设备厂商在整体技术水平尤其是尖端技术水平上和国外厂商询有差距。业内专家指出，国产太阳能光伏设备的竞争力不完全在于设备的性能指标，而在于设备的性能价格比。成本是太阳能光伏产业的终极目标，业内有句话，光伏设备没有最好的，只有最合适的。据了解，建设一•条太阳能电池生产线，70%以上的投资是用來购买设备，而国产设备的价格平均只有国外产品的1/3-1/2,采用国产设备辅以少量进口设备，可以将婕线成本降低一半以上。图一品体硅太阳电池生产工艺流程本文将从晶体硅太阳电池生产工艺流程（图一）中所涉及到的影响太阳能电池光电转换效率的清洗制绒设备、扩散设备、刻蚀设备、去磷硅玻璃设备（去PSG）、镀减反射膜（PECVD）设备、印刷电极设备、烘T•烧结设备、测试分选设备等典型企业进行阐述。清洗/制绒设备：单品硅电池槽式基本国产，多品硅电池连续式进口居多当前环境下，国内清洗设备企业正直而生存和发展的问题。调查中发现，而对这场全球性的危机，电池清洗设备金业在担忧的同吋，应对未來发展持谨慎乐观态度。担忧的是这场风险对那些发展不好、实力不强的企业影响很人，乐观的是清洗机行业仍然是全球和我国持续发展的新材料产业。过去儿年來，清洗机国内产量快速增长和外贸出口量不断加大，产业不断扩张，这造成了当前大量清洗机开始“倒向”国内市场。国内清洗机行业因国内外市场的需求萎缩，企业出现限产和停产的状况。但是，与此相反的是，北京七星华创自2003年进入光伏设备领域以來，为尚徳电力、南京中...