微细电解线切割加工模型分析与试验研究王昆I,朱荻2(1.同济大学机械工程学院，上海201804；2.南京航空航天人学机电学院，江苏南京210016)摘要：微细电解线切割加工是-*种微细加工新方法。由于原理上阴极不会损耗，采用微米级直径的电极丝，可加工出微米至数十微米尺度的复杂微结构件。基于电化学原理，讨论了微细电解线切割加工的机理，建立了加工的理论模型，得出了微米尺度线电极进给速度的理论上限。通过电解线切割加匸试验，分析了各种加工参数对加工精度的彩响规律，并加工出缝宽为20叩左右的微型桨叶结构。试验结果表明，微细电解线切割加工技术能为特殊性能材料的微细加工提供冇效的新途径。关键词：微细电解线切割加工；线电极；理论模型；试验研究：TG662文献标识码：ATHEORETICALMODELANDEXPERIMENTSOFWIREELECTROCHEMICALMICRO-MACHININGWANGKun1,ZHUDi2(1.CollegeofMechanicalEngineering,Tong激University,Shanghai200092,China;2.CollegeofMechanicalandElectricalEngineering,Nan激ngUniversityofAeronauticsandAstronautics,Nan激ng210016,China)Abstract:Wireelectrochemicalmicro-machining(WEMM)isproposedasanewmethodofprecisionmachininginthispaper.BecauseofnoelectrodewearinthisprocessthemicrometerscalemetalwirecanbeusedasthewireelectrodeinWEMM,andthemicrometerortensmicrometerstructurecanbefabricated.Baseontheprincipleofelectrochemical,themechanismofwireelectrochemicalmicro-machiningisinvestigated,thetheoreticalmodelofthemethodisfoundedandthetoplimitoffeedspeedofthemicronscalewireelectrodeisstudied・Effectsofprocessparametersonthemachiningaccuracyintheelectrochemicalmicro-machininghavebeenstudiedtheoreticallyandexperimentally,andmicrobladeswiththeslitwidthof20pmismachined・ItisprovedexperimentallythatWEMMcanprovideaneweffectivemanufacturingmethodformachininghigh-performancematerials.Keywords:wireelectrochemicalmicro-machining;Wireelectrode;Theoreticalmodel；Experimentalresearch微细加工技术是木批纪最活跃的科学研究方向之一。金属材料的微细加工有着广泛的发展需求。在某些微器件屮，为了提高性能或者得到特定性能，需要釆用金属微部件代替硅结构來实现高反射率、高质量密度、低电阻率、特定强度要求以及特殊形状的结构。现有的金属材料微加工技术还存在很大的局限性，不能满足发展的需求，发展新的金属材料微细加工技术是非常重要和迫切的。微细电解加工是基于电化学离子去除原理来微量溶解工件的技术，理论上可以达到纳米级的加工精度,具有高效、低成木、与材料硬度无关等原理上的优势，在微细加工方而存在着巨大的发展潜力。当采用超短脉冲电流时，微细电解加工间隙可缩小到微米级。国外对此方向的研究非常重视，发展很快，但也处于起步阶段［7］。收稿日期：2008-09-15基金项目：国家自然科学基金资助项目(50575105);同济大学青年优秀人才培养行动计划项目(2008KJ024)作者简介：王昆(1981—),男，讲师，博士，主要研究方向为特种加工技E-mail:kunwang@tong激.edu基于超短脉冲电流技术的微细电解线切割加工技术是一种梢密、微细加工新方法叫微细电解线切割加工技---本文来源于网络，仅供参考，勿照抄，如有侵权请联系删除---术可用于导电材料的复杂微结构件的加工制造，既可以制造帯有微槽道微缝的零件、又可以制造二维复杂形状高精度的微小零件。例如：电涡流传感器或其他微型电磁元件屮需要的微型平面线圈，微型化学反应器屮的微流道板，某些界型化纤喷丝板，微齿轮，微播义，微缝网板，微小型系统，以及宏观尺度系统中的很多精密零部件。韩国国立汉城大学研究人员首先提出采用钳丝电极电解切割不锈钢材料，并获得了缝宽20pm左右的微细结构。但是，文献⑹既没有对这一新的微细加工方法进行深入理论模型研究，也没有对试验中的加工参数对加工精度的影响规律进行讨论。木文对这种微细加工新方法进行了理论和试验研究，首先基于电化学原理，讨论了超短脉冲微...