磁控溅射制备柔性衬底ZnO：Ga透明导电膜微结构及性能研究第28卷第11期21XI7年11月太阳台旨ACTAENERGIAESOLARISSI』ⅥCANov.,933O7磁控溅射制备柔性衬底ZnO:Ga透明导电膜微结构及性能研究李素敏,赵玉涛,张钊(江苏大学材料科学与工程学院,镇江212013)摘要:室温条件下,采用磁控溅射法在有机柔性衬底聚酰亚胺(PI)表面制备出ZnO:Ga透明导电膜,XRD表明ZnO:Ga薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜.研究了溅射功率,氩气分压,溅射时间及衬底负...
