热载流子效应和其对器件可靠性影响探究摘要：该文主要阐述了热载流子效应产生的物理机制及器件的退化，进一步介绍了在JEDEC标准中，对可靠性模型寿命计算做出的规范下，目前使用的三种寿命计算模型：衬底电流模型，Vd模型，Isub/Id模型(即：胡模型)，基于这些模型对器件寿命的估算，将为集成电路设计中器件优化与工艺改进提供重要参考信息。关键词：热载流子；可靠性模型；寿命；JEDEC标准中图分类号：TP3文献标识码：A文章编号...
