腐蚀工艺在石英晶体谐振器生产过程中的应用张会勇摘要：晶片腐蚀是石英晶体谐振器生产过程中不可缺少的工序。采用不同的腐蚀工艺参数，例如腐蚀量大小、腐蚀液的温度、不同的腐蚀方法，均会对晶体谐振器参数产生不同的影响。简要介绍了石英晶片的腐蚀工序作用、主要参数和腐蚀工艺的步骤对晶体谐振器参数的影响。关键词：石英晶体谐振器；晶片腐蚀；谐振电阻；腐蚀方法：TN752.2：ADOI：10.15913/j.cnki.kjycx.2015.08.157石英...
[λ4]低温超导共面波导谐振器的研究张倍红+周品嘉+王轶文摘要：讲述了一种高[Q]值的[λ4]吸收型超导共面波导谐振器的设计、制备及在低温超导状态下对其传输特性的测量分析。通过磁控溅射工艺在硅基底上沉积一层铌膜，再通过光刻工艺制备出谐振器样品。在100mK的低温状态下，利用矢量网络分析仪测量其传输特性，并研究了温度对传输特性的影响。实验结果表明：该谐振器的[Q]值可达[105]量级，损耗在-15dB左右；温度升高时，谐振频...
基于薄膜体声波谐振器的超高分辨率MEMS湿度敏感元件#赵洪元，张代化，庞慰，张浩**5101520253035（天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津300072）摘要：本文介绍了一种基于旋涂了PVA薄膜的MEMS薄膜体声波谐振器的高分辨率湿度传感器。本传感器表现出对水蒸气的高敏感度，并可通过监测薄膜体声波谐振器的串联谐振频率变化检测小至0.08%的相对湿度变化。集成了这种器件的CMOS振荡电路和射频前端芯片将为基于质量传感的薄膜体声...
