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  • 金属钨箔膜的制备研究进展

    金属钨箔膜的制备研究进展萍1,2,邢丕峰1,谌家军2,李朝阳1,谢军1,易泰民1,林华平1,2宋(1.中国工程物理研究院,四川绵阳621900)(2.西华师范大学,四川南充637002)摘要:具有体密度的高表面质量金属钨薄膜对材料高压状态方程研究具有十分重要的意义。综述了钨箔膜制备的几种方法,包括化学气相沉积、物理气相沉积、机械轧制、机械研磨抛光、化学抛光和电解抛光。综合比较后认为,采用电解抛光法可以基本满足状态方程靶用钨箔...

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