电子束光刻技术的原理及其在微纳加工与纳米器件制备中的应用_张琨第25卷第2期2006年4月电子显微学报JournalofChineseElectronMicroscopySocietyVol-25,No.22006-4文章编号:1010-6281(2006)02-0097-07电子束光刻技术的原理及其在微纳加工与纳米器件制备中的应用张琨1,林罡2,刘刚3,田扬超3,王晓平1＊(1中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家实验室,安徽合肥230026;2南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家级重点实验室,江苏...
第39卷第9期2007年9月哈尔滨工业大学学报JOURNALOFHARBININSTITUTEOFTECHNOLOGYVol139No19Sep.2007微纳卫星的微尺度传热问题及其解决方法邵宝东1,2,孙兆伟1,王丽凤2(1.哈尔滨工业大学卫星技术研究所,哈尔滨150080,E2mail:shbd-1221@163;2.昆明理工大学工程力学系,昆明650093摘要:介绍了可以解决微尺度传热问题的几种微器件及其工作原理,.关键词:微纳卫星;微尺度传热;微槽道;相变传热:TK16;TH20文献标识码:A:(200709-1361-05prob...
