基于阵列电极的电沉积铜层均匀度的研究#张锦秋，陈桂林，王晓伟*（哈尔滨工业大学化工学院，哈尔滨150001）510152025摘要：为解决微小、复杂零件电镀时存在的电流密度分布不均匀的问题，在固定尺寸的电镀槽内，使用工作面积不同和排列位置不同的阵列玻碳电极作为阴极，通过测试阴极极化曲线和恒电位沉积-溶出实验，研究镀铜液静止和流动时对阴极电流密度分布和电镀层形貌影响。研究发现，电极工作面积增大，极限扩散电流密度减...
