文章编号：1006-6268（2012）11-0034-04ODF真空贴合系统研究刘亮，杨国波，赵德友，王永茂，于翔，龚娟（成都京东方光电科技股份有限公司Cell技术部，四川成都611731）摘要：文章介绍了TFT-LCD生产中，液晶滴下（OneDropFilling，ODF）所涉及真空贴合系统（VacuumAlignSystem，VAS）的结构及其发展情况，概述了VAS的工艺过程，重点介绍了该系统中真空单元、基板吸附单元和基板对位单元及其发展。中图分类号：TB79文献标识码：BR...
