磁控溅射法制备耐冲蚀钛合金复合涂层研究进展田贵双I戈超2张俊秋彳（武汉理工人学机屯工程学院湖北武汉430070）（吉林大学工程仿生教冇部重点实验室，吉林长春130025）摘要：木文介绍了磁控溅射的基本原理，以及几种典型的磁控溅射镀膜技术（反应溅射、非平衡磁控溅射、等离子体加強磁控溅射技术）；并介绍了利用磁控溅射技术制备钛合金耐冲蚀涂层的新进展。关键词：磁控溅射；耐冲蚀；钛合金：Recentstudiesoneros...
