世界主要MBE设备制造商及产品简介2009年?第5期技术交流中国材料科技与设备(双月刊)世界主要MBE设备制造商及产品简介刘超卜,包兴明(1•中国科学院半导体研究所，北京100083;2.四川理工学院理学院，四川自贡643000)摘要:本文根据Riber,Veeeo,DCAInstruments等着名公司的最新资料简要介绍了世界上主要分子束外延设备制造公司及其主流产品的基木情况，供国内相关领域的读者在了解和选购MBE产品时作参考.关键词:分子柬外延;半导体薄...
