收稿日期:2002-04-08基金项目:国家自然科学基金资助项目(69976034,90101012;国家重点基础研究专项经费资助项目(G20000365作者简介:门传玲(1970-,女,安徽长丰人,博士生.E-mail:clmen@mail.sim.ac新型氮化铝埋层上硅结构的应力特性门传玲1,2,徐政1,安正华2,林成鲁2(1.同济大学材料科学与工程学院,上海200092;2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050摘要:为减轻传统SOI(silicon2on2insulato...
