学校代码：10246学号：083021108硕士学位论文（专业学位）制造工艺对超深亚微米铝互连线通孔应力迁移可靠性的影响院系：信息科学与工程学院专业：集成电路姓名：刘宇指导教师：李炳宗教授彭树根博士完成口期：2010年11月20口摘要1Abstract2引言2第一章绪论31.1超深亚微米铝连线应力迁移问题的重要性31.2超深亚微米铝连线可靠性而临的挑战51.3本论文的工作7第二章铝互连线通孔应力迁移问题的研究背景82.1铝连线通孔应力迁移现象8...
