Opto-ElectronicEngineering2012年12月Dec,2012：1003-501X(2012)12-0055-08零差激光干涉仪正交相位误差的分析胡红波，于梅(中国计量科学研究院，北京100013)摘要：针对零差正交激光干涉仪在直线运动测量中的误差及其影响，说明了零差激光干涉仪两路正交干涉信号中零漂、幅度误差以及相位误差等典型的非线性因素对位移测量的影响。本文采用一种简单的方法首先去除了干涉信号中的零漂与幅度误差，详细论述了正交相位误差对振动与...
