准LIGA技术在微传感器制造中的应用??2000年第19卷第3期????????????????????传感器技术(??JournalofTransducerTechnology)41实用技术魏??兵（湖北工学院机械系，湖北武汉430068）摘??要:准LIGA技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的优点,利用此技术，用普通光学曝光机可将光刻图形转移到较厚的光刻胶上,获得较大的深宽比，从而解决了LIGA技术的光源问题。简要介绍了准LIGA技术的工艺过程特点和应用实例。关键词:准LIGA技术;光刻...
