第３１卷第１１期２０１１年１１月光学学报Ｖｏｌ．３１，Ｎｏ．１１，Ｎｏｖｅｍｂｅｒ２０１１深紫外光刻照明系统扩束单元设计赵阳巩岩张巍（）中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春摘要在曝光线宽为９准分子激光光源发出的矩形截面光束，需要进行一维扩束，以获得光０ｎｍ的投影光刻机中，束整形单元所需的正方形截面分布。现有的这类扩束单元分别存在严重的相干散斑效应和严格的装调公...
