2012-07-19################2012-07-19#######2#012-07-19########ITO薄膜厚度和含氧量对其结构与性能的影响辛荣生1，林钰2（1.郑州大学材料科学与工程学院，河南郑州450052；2.河南教育学院化学系，河南郑州450014）摘要:在玻璃衬底上用直流磁控溅射的方法镀制ITO透明半导体膜，采用X射线衍射技术分析了膜层晶体结构与薄膜厚度和氧含量的关系，并测量了薄膜电阻率及透光率分别随膜厚和氧含量的变化情况。以低氧氩流量比(1/40)...
