浅谈光掩模版设计与制作王小霞甄娟摘要：光掩模版（简称Mask）是TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器，ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay）显示屏技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。本文介绍了液晶显示屏中TFT-Array（阵列）侧基板和CF（彩色滤光片，colorfilter）侧基板的Mask的概念、Mask版图设计与制作相关基本内容。关键词：Mask版；Mask版图设计；制版工艺：TN253文献标识码：A：1004-7344（2018）32-0325-011引言曝...
