第16卷第6期2004年6月强激光与粒子束HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMSVol.16,No.6Jun.,2004文章编号:100124322(2004)0620729204准分子激光光束均匀性的评价指标研究李红霞,楼祺洪,叶震寰,董景星,魏运荣,凌磊(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)Ξ摘要:详细研究了准分子激光光束均匀性的各项评价指标,加工窗口描述了加工任务本身对光束均匀度的要求;能量分数回答了具体加工窗口即均匀度要求下的能量利用率问题;平顶因...