光刻材料的发展及应用_庞玉莲（北京师范大学化学学院，北京１００８７５）光刻材料的发展及应用庞玉莲，邹应全＊摘要:简述了光刻技术及光刻材料的发展过程及发展趋势，对光刻技术在集成电路和半导体分立器件的微细加工以及印刷电路板、平板显示器、触摸屏等制作过程中的应用进行了概述。并重点围绕光刻胶在集成电路制造中的应用，对其反应机理、应用性能等进行了阐述。同时还对光刻材料的市场特别是中国市场的现状及前景做了一...
电子束光刻技术的原理及其在微纳加工与纳米器件制备中的应用_张琨第25卷第2期2006年4月电子显微学报JournalofChineseElectronMicroscopySocietyVol-25,No.22006-4文章编号:1010-6281(2006)02-0097-07电子束光刻技术的原理及其在微纳加工与纳米器件制备中的应用张琨1,林罡2,刘刚3,田扬超3,王晓平1＊(1中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家实验室,安徽合肥230026;2南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家级重点实验室,江苏...
电子束光刻制备5000line_mm光栅掩模关键技术研究_朱效立收稿日期:20220310;修订日期:20220326基金项目:国家基础科学重大研究计划资助项目(2007CB935302);国家高技术发展计划863项目资助(2006AA03Z355)作者简介:朱效立(1977-),男,山东定陶人,博士研究生,主要研究方向为高线密度X-EUV透射光栅研制、电子束光刻和X射线光刻技术;谢常青(1971-),男,广西浦北人,研究员,主要研究方向为衍射光学元件和先进纳米加工技术;赵珉(1975-),女,...
光刻胶公司市场定位方案xxx投资管理公司目录第一章公司概况4一、公司基本信息4二、公司主要财务数据4第二章项目背景分析6一、产业环境分析6二、必要性分析7第三章市场定位8一、市场细分的作用8二、市场细分战略的产生与发展11三、选择目标市场14四、目标市场战略18五、市场定位的步骤25六、定位的概念和方式26第四章法人治理结构31一、股东权利及义务31---本文来源于网络，仅供参考，勿照抄，如有侵权请联系删除---...
第３１卷第１１期２０１１年１１月光学学报Ｖｏｌ．３１，Ｎｏ．１１，Ｎｏｖｅｍｂｅｒ２０１１深紫外光刻照明系统扩束单元设计赵阳巩岩张巍（）中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春摘要在曝光线宽为９准分子激光光源发出的矩形截面光束，需要进行一维扩束，以获得光０ｎｍ的投影光刻机中，束整形单元所需的正方形截面分布。现有的这类扩束单元分别存在严重的相干散斑效应和严格的装调公...
