电子设计工程ElectronicDesignEngineering第19卷Vol.19第20期No.202011年10月Oct.2011一种高精度微电流测量放大器的研制陈振生1,张玉林2,孙德芬1,王月1(1.山东凯文科技职业学院电工电子实训中心,山东济南250200;2.山东大学控制科学与工程学院,山东济南250061摘要:介绍了用于电子束曝光机束斑和束流测量的高精度电流/电压转换放大器。根据束流极其微弱这一特定情况,为了得到超低漂移、超低噪声和强抗干扰的高精度性能指标要求,采...
