万方数据2008年9月石云波等:微型高过载加速度传感器的加工与测试图【2】,量程为1500009,一阶固有频率可达300kHz。所设计的结构梁的宽度和质量块的长宽均一致,压阻对称放置于四梁根部,可以很好地抑制非对称性结构引起的沿梁长度方向横向加速度的影响。利用KOH溶液在质量块背部开槽腐蚀,减小质量块质量及其与梁中心面的距离,从而使梁岛式结构与平膜式结构的优点得到有效结合。O三图1加速度传感器模型断面图1.2加速度传感器参数优...
