ELA前处理方式改善结晶效果的研究李亚，胡国仁，李子健，唐丽娟，戴天明，徐源竣，汤富雄，许宗义(深圳市华星光电技术有限公司AMOLED技术开发部，深圳518132，EmaihliyaOl@tcl．COnl)深圳市海外高层次人才资金资助摘要：为了研究ELA前处理方式对结晶效果的影响，调整ELAPre—clean的参粼清洗转速、HF—Clean时间、03处理电压)，然后进行ELA晶化过程，借助SEM和AFM等手段对结晶后的Poly—Si薄膜微结构进行了分析研究。结果发现：...
