磁控溅射法制备耐冲蚀钛合金复合涂层研究进展田贵双I戈超2张俊秋彳（武汉理工人学机屯工程学院湖北武汉430070）（吉林大学工程仿生教冇部重点实验室，吉林长春130025）摘要：木文介绍了磁控溅射的基本原理，以及几种典型的磁控溅射镀膜技术（反应溅射、非平衡磁控溅射、等离子体加強磁控溅射技术）；并介绍了利用磁控溅射技术制备钛合金耐冲蚀涂层的新进展。关键词：磁控溅射；耐冲蚀；钛合金：Recentstudiesoneros...
影响磁控溅射均匀性的因素影响磁控溅射均匀性的因素王军生童洪辉赵嘉学韩大凯戴彬（核工业西南物理研究院）摘要：用中频孪生靶磁控溅射实验平台，对影响磁控溅射生成的薄膜厚度均匀性的因素进行了实验。结果表明，磁场的均匀性和工作气体的均匀性是影响成膜均匀性的主要因素。针对实验结果，提出了用磁场和气体相互配合达到高的镀膜均匀性。关键词：磁控溅射磁场气体均匀性中图分类号O539磁控溅射生成的薄膜厚度的均匀性是成膜...
高超声速飞行器常规螺线管磁控热防护系统可行性分析李开，刘伟强（国防科学技术大学航天科学与工程学院，湖南长沙410073）摘要：针对高超声速飞行器鼻锥热防护，构造了常规圆柱螺线管磁控热防护系统的物理模型。采用低磁雷诺数磁流体数学模型，对外加磁场作用下的高超声速鼻锥流场进行了数值模拟；分析了常规螺线管磁控热防护系统的有效磁感应强度范围；给出了满足导线电流密度工作极限的螺线管几何参数的要求。研究表明，由...
磁控溅射制备柔性衬底ZnO：Ga透明导电膜微结构及性能研究第28卷第11期21XI7年11月太阳台旨ACTAENERGIAESOLARISSI』ⅥCANov.,933O7磁控溅射制备柔性衬底ZnO:Ga透明导电膜微结构及性能研究李素敏,赵玉涛,张钊(江苏大学材料科学与工程学院,镇江212013)摘要:室温条件下,采用磁控溅射法在有机柔性衬底聚酰亚胺(PI)表面制备出ZnO:Ga透明导电膜,XRD表明ZnO:Ga薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜.研究了溅射功率,氩气分压,溅射时间及衬底负...
磁控溅射技术原理、现状、发展及应用实例（薄膜物理大作业论文）班级：1035101班学号：1101900508姓名：孙静一、前言镀膜玻璃是一种在玻璃表面上镀一层或多层金属氧化物薄膜，使其具有一种或多种功能的玻璃深加工产品。自七十年代开始，在世界发达国家和地区，传统的单一采光材料—普通建气琳璃，已逐步为具有节能、控光、调温、改变墙体结构以及具有艺术装饰效果的多功能玻璃新产品所替代，如茶色玻璃、中空玻璃、镀膜玻璃等，...
