---本文来源于网络，仅供参考，勿照抄，如有侵权请联系删除---140微波集成电路(MIC)中Au/NiCr/Ta多层金属膜粗糙化机理的AFM研究唐武・徐可为・王平李弦(西安交通大学金属材料强度国家重点实验室710049)(西安空间无线电技术研究所710000)AtomicForceMicroscopyStudyofSurfaceRougheningofAu/NiCr/TaMultilayersinMicrowaveIntegratedCSrcuitsTangWu12,XuKewei*(State-KeyLaboratoryforMechanicalBehavio...
